[发明专利]等离子体阻抗匹配单元、用于向等离子体负载供应RF能量的系统、以及向等离子体负载供应RF能量的方法

权利要求书

1.一种用于等离子体能量供应系统(10、100)的等离子体阻抗匹配单元(13)，包括

a.第一能量连接器(40)，用于将所述匹配单元(13)耦接至能量源(11)，

b.第二能量连接器(41)，用于将所述匹配单元(13)耦接至等离子体负载(20)，

c.数据链接接口装置(45)，用于经由数据链接装置(48)将所述阻抗匹配单元(13)直接耦接至所述等离子体能量供应系统(10、100)的另一等离子体阻抗匹配单元(14)，

d.控制器(42)，所述控制器被构造成控制所述匹配单元(13)，从而使得来自所述第一能量连接器(40)的阻抗与所述第二能量连接器(41)的阻抗匹配，其中

e.所述控制器(42)被构造成作为针对所述等离子体能量供应系统(10、100)的至少一个其它阻抗匹配单元(14)和/或至少一个RF能量源(11、12)的管理器操作，其中所述控制器(42)被构造成经由所述数据链接接口装置(45)与所述等离子体能量供应系统(10、100)的其它阻抗匹配单元(14)和/或RF能量源(11、12)通讯，

f.所述等离子体阻抗匹配单元(13)被构造成决定哪个等离子体阻抗单元执行阻抗匹配以及哪个阻抗匹配单元不执行阻抗匹配，并且

g.其中所述等离子体阻抗匹配单元(13)包括至少一个传感器(44)，所述传感器被构造成测量与所述阻抗匹配单元(13)的第二能量连接器(41)的阻抗有关的值，并且

h.其中在所述传感器(44)与所述控制器(42)之间建立连接，从而所述控制器(42)适于基于所测量的数据控制所述等离子体阻抗匹配单元(13)的匹配网络(43)。

2.根据权利要求1所述的等离子体阻抗匹配单元，其特征在于，所述控制器(42)具有针对所述阻抗匹配单元(13)的所有数据的直接访问权。

3.根据权利要求1或2所述的等离子体阻抗匹配单元，其特征在于，所述等离子体阻抗匹配单元(13)包括金属壳体，在所述金属壳体内封装所述阻抗匹配单元的所有其它部件。

4.根据权利要求3所述的等离子体阻抗匹配单元，其特征在于，所述数据链接接口装置(45)被直接安置在所述金属壳体处。

5.根据权利要求3所述的等离子体阻抗匹配单元，其特征在于，所述第一能量连接器(40)被直接安置在所述金属壳体处。

6.根据权利要求1或2所述的等离子体阻抗匹配单元，其特征在于，所述传感器(44)被构造成检测等离子体过程中的电弧。

7.根据权利要求1或2所述的等离子体阻抗匹配单元，其特征在于，所述控制器(42)被构造成向所述至少一个其它阻抗匹配单元(14)和/或至少一个RF能量源(11、12)发送搁置信号或者从所述至少一个其它阻抗匹配单元(14)和/或至少一个RF能量源(11、12)接收搁置信号。

8.根据权利要求1或2所述的等离子体阻抗匹配单元，其特征在于，所述控制器(42)被构造成检测等离子体状态条件。

9.根据权利要求8所述的等离子体阻抗匹配单元，其特征在于，所述控制器(42)被构造成检测等离子体(26)中的不稳定性。

10.根据权利要求1所述的等离子体阻抗匹配单元，其特征在于，所述控制器(42)具有关于等离子体容室(25)内的等离子体(26)的特性的数据的直接访问权。

11.根据前述权利要求3所述的等离子体阻抗匹配单元，其特征在于，所述第一能量连接器(40)以及所述第二能量连接器(41)被直接安置在所述金属壳体处。