[发明专利]用于法布里-珀罗干涉仪的镜板以及法布里-珀罗干涉仪有效
| 申请号： | 201680014528.1 | 申请日： | 2016-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN107430032B | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | A.瓦普拉;M.普伦尼拉;K.格里戈拉斯 | 申请（专利权）人： | 芬兰国家技术研究中心股份公司 |
| 主分类号： | G01J3/26 | 分类号： | G01J3/26;G01J3/45;G02B5/08;G02B5/28;G02B26/00;G01B9/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 申屠伟进;郑冀之 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 芬兰;FI |
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| 摘要： | 一种用来制造用于法布里‑珀罗干涉仪（300）的镜板（100）的方法，包括：‑提供包括硅（Si）的基板（50），‑在基板（50）上实现半透明反射涂层（110），‑通过在基板（50）中蚀刻多个空隙（E1）并且通过钝化空隙（E1）的表面来在基板（50）中和/或在基板（50）上形成钝化区域（70a），‑在钝化区域（70a）的顶部上形成第一传感器电极（G1a），以及‑形成由基板（50）支撑的第二传感器电极（G1b）。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 法布里 干涉仪 以及 | ||
【主权项】：
1.一种用来制造用于法布里‑珀罗干涉仪（300）的镜板（100）的方法，所述方法包括：‑提供包括硅（Si）的基板（50），‑在所述基板（50）上实现半透明反射涂层（110），‑通过在所述基板（50）中蚀刻多个空隙（E1）并且通过钝化所述空隙（E1）的表面来在所述基板（50）中和/或在所述基板（50）上形成钝化区域（70a），‑在所述钝化区域（70a）的顶部上形成第一传感器电极（G1a），以及‑形成由所述基板（50）支撑的第二传感器电极（G1b），其中所述空隙（E1）的内宽（wE1）在横向（SY）上小于100μm。
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