[实用新型]管P石墨舟安装校准设备有效

专利信息
申请号: 201621355245.7 申请日: 2016-12-09
公开(公告)号: CN206282828U 公开(公告)日: 2017-06-27
发明(设计)人: 孙铁囤;姚伟忠;邹海军 申请(专利权)人: 常州亿晶光电科技有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 代理人: 郑云
地址: 213000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供一种管P石墨舟安装校准设备,包括第一校准系统、第二校准系统和第三校准系统,第一校准系统包括侧面基准板、第一面板和第一驱动机构,第一面板与侧面基准板分别设于石墨舟前后两侧,第一驱动机构控制第一面板靠近或远离侧面基准板,第二校准系统包括挡板、第二面板和第二驱动机构,第二面板与挡板分别设于石墨舟左右两侧,第二驱动机构控制第二面板靠近或远离挡板,第三校准系统包括平台、第三面板和第三驱动机构,第三面板设于平台上方,第三面板与平台分别设于石墨舟上下两侧。本实用新型采用第一校准系统、第二校准系统和第三校准系统大大提高管P石墨舟安装精度,使得安装过程有基准有效率。
搜索关键词: 石墨 安装 校准 设备
【主权项】:
一种管P石墨舟安装校准设备,其特征在于:包括用于限制管P石墨舟(9)前后位置的第一校准系统、用于限制管P石墨舟(9)左右位置的第二校准系统和用于限制管P石墨舟(9)上下位置的第三校准系统,所述第一校准系统包括侧面基准板(2)、第一面板(4‑1)和第一驱动机构(5‑1),所述第一面板(4‑1)与所述侧面基准板(2)分别设于所述管P石墨舟(9)前后两侧且前后相对设置,且所述第一面板(4‑1)与所述侧面基准板(2)平行,所述第一驱动机构(5‑1)控制所述第一面板(4‑1)靠近或远离所述侧面基准板(2),所述第二校准系统包括挡板(3)、第二面板(4‑2)和第二驱动机构(5‑2),所述第二面板(4‑2)与所述挡板(3)分别设于所述管P石墨舟(9)左右两侧且左右相对设置,且所述第二面板(4‑2)与所述挡板(3)平行,所述第二驱动机构(5‑2)控制所述第二面板(4‑2)靠近或远离所述挡板(3),所述第三校准系统包括平台(1)、第三面板(4‑3)和第三驱动机构(5‑3),所述第三面板(4‑3)设于所述平台(1)上方,所述第三面板(4‑3)与所述平台(1)分别设于所述管P石墨舟(9)上下两侧且上下相对设置,且所述第三面板(4‑3)与所述平台(1)平行,所述第三驱动机构(5‑3)控制所述第三面板(4‑3)靠近或远离所述平台(1)。
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