[实用新型]管P石墨舟安装校准设备有效
申请号: | 201621355245.7 | 申请日: | 2016-12-09 |
公开(公告)号: | CN206282828U | 公开(公告)日: | 2017-06-27 |
发明(设计)人: | 孙铁囤;姚伟忠;邹海军 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 | 代理人: | 郑云 |
地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供一种管P石墨舟安装校准设备,包括第一校准系统、第二校准系统和第三校准系统,第一校准系统包括侧面基准板、第一面板和第一驱动机构,第一面板与侧面基准板分别设于石墨舟前后两侧,第一驱动机构控制第一面板靠近或远离侧面基准板,第二校准系统包括挡板、第二面板和第二驱动机构,第二面板与挡板分别设于石墨舟左右两侧,第二驱动机构控制第二面板靠近或远离挡板,第三校准系统包括平台、第三面板和第三驱动机构,第三面板设于平台上方,第三面板与平台分别设于石墨舟上下两侧。本实用新型采用第一校准系统、第二校准系统和第三校准系统大大提高管P石墨舟安装精度,使得安装过程有基准有效率。 | ||
搜索关键词: | 石墨 安装 校准 设备 | ||
【主权项】:
一种管P石墨舟安装校准设备,其特征在于:包括用于限制管P石墨舟(9)前后位置的第一校准系统、用于限制管P石墨舟(9)左右位置的第二校准系统和用于限制管P石墨舟(9)上下位置的第三校准系统,所述第一校准系统包括侧面基准板(2)、第一面板(4‑1)和第一驱动机构(5‑1),所述第一面板(4‑1)与所述侧面基准板(2)分别设于所述管P石墨舟(9)前后两侧且前后相对设置,且所述第一面板(4‑1)与所述侧面基准板(2)平行,所述第一驱动机构(5‑1)控制所述第一面板(4‑1)靠近或远离所述侧面基准板(2),所述第二校准系统包括挡板(3)、第二面板(4‑2)和第二驱动机构(5‑2),所述第二面板(4‑2)与所述挡板(3)分别设于所述管P石墨舟(9)左右两侧且左右相对设置,且所述第二面板(4‑2)与所述挡板(3)平行,所述第二驱动机构(5‑2)控制所述第二面板(4‑2)靠近或远离所述挡板(3),所述第三校准系统包括平台(1)、第三面板(4‑3)和第三驱动机构(5‑3),所述第三面板(4‑3)设于所述平台(1)上方,所述第三面板(4‑3)与所述平台(1)分别设于所述管P石墨舟(9)上下两侧且上下相对设置,且所述第三面板(4‑3)与所述平台(1)平行,所述第三驱动机构(5‑3)控制所述第三面板(4‑3)靠近或远离所述平台(1)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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