[实用新型]管P石墨舟安装校准设备有效
申请号: | 201621355245.7 | 申请日: | 2016-12-09 |
公开(公告)号: | CN206282828U | 公开(公告)日: | 2017-06-27 |
发明(设计)人: | 孙铁囤;姚伟忠;邹海军 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 | 代理人: | 郑云 |
地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨 安装 校准 设备 | ||
技术领域
本实用新型涉及石墨舟技术领域,特别是涉及一种管P石墨舟安装校准设备。
背景技术
管P石墨舟由若干个舟片平行设置而成,石墨舟之间穿设有若干陶瓷柱,在将所有舟片前后左右上下位置对齐后,陶瓷柱与舟片紧密贴合,用扭力扳手固定石墨舟螺母,固定好取出后石墨舟精度不会发生变化。
现有石墨舟安装设备不能有效地将石墨舟安装到位,没有精确的基准面,且基准面偏差较大,舟片安装会出现偏差;舟片仅依靠底部平台卡槽来定位,石墨舟中间夹杂陶瓷柱,在螺母旋紧固定后,舟片与陶瓷柱不一定完全贴合,因为舟之间距离受卡槽影响,舟取出后,舟片位置会出现偏差。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是:为了克服现有技术中管P石墨舟安装精度低的不足,本实用新型提供一种管P石墨舟安装校准设备。
本实用新型解决其技术问题所要采用的技术方案是:一种管P石墨舟安装校准设备,包括用于限制管P石墨舟前后位置的第一校准系统、用于限制管P石墨舟左右位置的第二校准系统和用于限制管P石墨舟上下位置的第三校准系统,所述第一校准系统包括侧面基准板、第一面板和第一驱动机构,所述第一面板与所述侧面基准板分别设于所述管P石墨舟前后两侧且前后相对设置,且所述第一面板与所述侧面基准板平行,所述第一驱动机构控制所述第一面板靠近或远离所述侧面基准板,所述第二校准系统包括挡板、第二面板和第二驱动机构,所述第二面板与所述挡板分别设于所述管P石墨舟左右两侧且左右相对设置,且所述第二面板与所述挡板平行,所述第二驱动机构控制所述第二面板靠近或远离所述挡板,所述第三校准系统包括平台、第三面板和第三驱动机构,所述第三面板设于所述平台上方,所述第三面板与所述平台分别设于所述管P石墨舟上下两侧且上下相对设置,且所述第三面板与所述平台平行,所述第三驱动机构控制所述第三面板靠近或远离所述平台。
将管P石墨舟放置在平台上,舟片侧面与侧面基准板平行设置,采用第一校准系统的第一驱动机构控制第一面板将管P石墨舟推向侧面基准板,保证所有舟片与平台垂直,限制管P石墨舟前后位置;采用第二校准系统的第二驱动机构控制第二面板将管P石墨舟推向挡板,保证所有舟片左右位置一致,限制管P石墨舟左右位置;采用第三校准系统的第三驱动机构控制第三面板将管P石墨舟推向平台,保证所有舟片上下位置一致,限制管P石墨舟上下位置;通过三个驱动机构循环推动舟片,最终使舟片位置固定,陶瓷柱与舟片紧密贴合,舟片保持垂直平整状态,最后用扭力扳手固定石墨舟螺母,固定好取出后石墨舟精度不会发生变化。
进一步,所述第一校准系统还包括第一支架、导向杆和导向套,所述第一支架与所述侧面基准板相对设置,所述第一支架上固定连接有所述第一驱动机构,所述第一面板上设有若干导向套,所述第一支架上设有与所述导向套相配合的导向杆,所述导向杆与所述导向套位置和数量一一对应,所述导向杆与所述导向套滑动连接。
采用第一支架固定第一驱动机构和导向杆,第一面板上设置导向套,导向杆与导向套配合,对第一面板起到导向支撑作用,防止驱动机构在对管P石墨舟施加作用力时发生变形,影响管P石墨舟的安装精度。
进一步,所述第二校准系统还包括第二支架、导向杆和导向套,所述第二支架与所述挡板相对设置,所述第二支架上固定连接有所述第二驱动机构,所述第二面板上设有若干导向套,所述第二支架上设有与所述导向套相配合的导向杆,所述导向杆与所述导向套位置和数量一一对应,所述导向杆与所述导向套滑动连接。
采用第二支架固定第二驱动机构和导向杆,第二面板上设置导向套,导向杆与导向套配合,对第二面板起到导向支撑作用,防止驱动机构在对管P石墨舟施加作用力时发生变形,影响管P石墨舟的安装精度。
进一步,所述第二面板前后方向的长度大于或等于管P石墨舟的前后方向的宽度。确保管P石墨舟上每个舟片都可以被第二面板限制左右位置。
进一步,所述第三校准系统还包括第三支架,所述第三支架与所述平台相对设置,所述第三支架上固定连接有所述第三驱动机构。采用第三支架固定第三驱动机构。
进一步,所述第三面板前后方向的长度大于或等于管P石墨舟的前后方向的宽度。确保管P石墨舟上每个舟片都可以被第三面板限制上下位置。
进一步,还包括底座,所述底座上设有所述平台、侧面基准板和挡板。底座对第一校准系统、第二校准系统和第三校准系统起到辅助支撑作用。
进一步,所述第一驱动机构、第二驱动机构和第三驱动机构均为气缸。
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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