[实用新型]管P石墨舟安装校准设备有效

专利信息
申请号: 201621355245.7 申请日: 2016-12-09
公开(公告)号: CN206282828U 公开(公告)日: 2017-06-27
发明(设计)人: 孙铁囤;姚伟忠;邹海军 申请(专利权)人: 常州亿晶光电科技有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 代理人: 郑云
地址: 213000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 石墨 安装 校准 设备
【权利要求书】:

1.一种管P石墨舟安装校准设备,其特征在于:包括用于限制管P石墨舟(9)前后位置的第一校准系统、用于限制管P石墨舟(9)左右位置的第二校准系统和用于限制管P石墨舟(9)上下位置的第三校准系统,所述第一校准系统包括侧面基准板(2)、第一面板(4-1)和第一驱动机构(5-1),所述第一面板(4-1)与所述侧面基准板(2)分别设于所述管P石墨舟(9)前后两侧且前后相对设置,且所述第一面板(4-1)与所述侧面基准板(2)平行,所述第一驱动机构(5-1)控制所述第一面板(4-1)靠近或远离所述侧面基准板(2),所述第二校准系统包括挡板(3)、第二面板(4-2)和第二驱动机构(5-2),所述第二面板(4-2)与所述挡板(3)分别设于所述管P石墨舟(9)左右两侧且左右相对设置,且所述第二面板(4-2)与所述挡板(3)平行,所述第二驱动机构(5-2)控制所述第二面板(4-2)靠近或远离所述挡板(3),所述第三校准系统包括平台(1)、第三面板(4-3)和第三驱动机构(5-3),所述第三面板(4-3)设于所述平台(1)上方,所述第三面板(4-3)与所述平台(1)分别设于所述管P石墨舟(9)上下两侧且上下相对设置,且所述第三面板(4-3)与所述平台(1)平行,所述第三驱动机构(5-3)控制所述第三面板(4-3)靠近或远离所述平台(1)。

2.如权利要求1所述的管P石墨舟安装校准设备,其特征在于:所述第一校准系统还包括第一支架(6-1)、导向杆(7)和导向套(8),所述第一支架(6-1)与所述侧面基准板(2)相对设置,所述第一支架(6-1)上固定连接有所述第一驱动机构(5-1),所述第一面板(4-1)上设有若干导向套(8),所述第一支架(6-1)上设有与所述导向套(8)相配合的导向杆(7),所述导向杆(7)与所述导向套(8)位置和数量一一对应,所述导向杆(7)与所述导向套(8)滑动连接。

3.如权利要求1所述的管P石墨舟安装校准设备,其特征在于:所述第二校准系统还包括第二支架(6-2)、导向杆(7)和导向套(8),所述第二支架(6-2)与所述挡板(3)相对设置,所述第二支架(6-2)上固定连接有所述第二驱动机构(5-2),所述第二面板(4-2)上设有若干导向套(8),所述第二支架(6-2)上设有与所述导向套(8)相配合的导向杆(7),所述导向杆(7)与所述导向套(8)位置和数量一一对应,所述导向杆(7)与所述导向套(8)滑动连接。

4.如权利要求3所述的管P石墨舟安装校准设备,其特征在于:所述第二面板(4-2)前后方向的长度大于或等于管P石墨舟(9)的前后方向的宽度。

5.如权利要求1所述的管P石墨舟安装校准设备,其特征在于:所述第三校准系统还包括第三支架(6-3),所述第三支架(6-3)与所述平台(1)相对设置,所述第三支架(6-3)上固定连接有所述第三驱动机构(5-3)。

6.如权利要求5所述的管P石墨舟安装校准设备,其特征在于:所述第三面板(4-3)前后方向的长度大于或等于管P石墨舟(9)的前后方向的宽度。

7.如权利要求1所述的管P石墨舟安装校准设备,其特征在于:还包括底座(11),所述底座(11)上设有所述平台(1)、侧面基准板(2)和挡板(3)。

8.如权利要求1所述的管P石墨舟安装校准设备,其特征在于:所述第一驱动机构(5-1)、第二驱动机构(5-2)和第三驱动机构(5-3)均为气缸。

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