[实用新型]自携式空气净化装置及半导体生产车间有效
申请号: | 201620915879.7 | 申请日: | 2016-08-22 |
公开(公告)号: | CN206257746U | 公开(公告)日: | 2017-06-16 |
发明(设计)人: | 卢海伦 | 申请(专利权)人: | 通富微电子股份有限公司 |
主分类号: | F24F1/02 | 分类号: | F24F1/02;F24F13/28;F24F13/00;F24F13/20 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙)44280 | 代理人: | 何青瓦 |
地址: | 226001 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供一种自携式空气净化装置及半导体生产车间,该自携式空气净化装置装设在设备上,其出风口与设备的入风口对接安装,外部空气经过自携式空气净化装置中的过滤网过滤后向设备的入风口输入。本实用新型提供的自携式空气净化装置结构简单,拆卸方便,可将净化车间的空气二次过滤,以防止含有杂质的空气进入设备内部影响产品质量。 | ||
搜索关键词: | 空气净化 装置 半导体 生产 车间 | ||
【主权项】:
一种自携式空气净化装置,其特征在于,所述自携式空气净化装置用于装设在设备上以向所述设备内部输入洁净的空气,所述设备设有入风口,所述自携式空气净化装置设有出风口,所述出风口与所述入风口对接安装,所述自携式空气净化装置包括过滤网,外部空气经所述过滤网过滤后再经所述出风口输向所述入风口。
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