[实用新型]多孔氮化硅支撑膜窗格及其用于透射电镜成像的装置有效
| 申请号： | 201620771104.7 | 申请日： | 2016-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN206163454U | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 谷林;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 北京市英智伟诚知识产权代理事务所(普通合伙)11521 | 代理人： | 刘丹妮 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种多孔氮化硅支撑膜窗格，所述多孔氮化硅支撑膜窗格包括衬底，覆盖在所述衬底一面的正面氮化硅，覆盖在所述衬底另一面的背面氮化硅和贯穿所述衬底与背面氮化硅的窗口；所述正面氮化硅具有多个贯通孔，所述贯通孔的孔径为20nm～370nm。该多孔氮化硅支撑膜窗格产生的多孔孔径均一，支撑膜无残留杂质，可以实现商业化应用。还提供了一种用于透射电镜成像的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 多孔 氮化 支撑 膜窗格 及其 用于 透射 成像 装置 | ||
【主权项】：
一种多孔氮化硅支撑膜窗格，其特征在于，所述多孔氮化硅支撑膜窗格包括：衬底，覆盖在所述衬底一面的正面氮化硅，覆盖在所述衬底另一面的背面氮化硅和贯穿所述衬底与背面氮化硅的窗口；其中，所述正面氮化硅具有多个贯通孔，所述贯通孔的孔径为20nm～370nm。
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