[实用新型]一种带内冷却系统的多晶硅还原炉

摘要

本实用新型涉及多晶硅生产制造领域，公开了一种带内冷却系统的多晶硅还原炉，炉体钟罩顶部设置有炉体顶部冷却系统，包括炉体顶部冷却盘管、进口管以及出口管；炉体顶部冷却盘管由一组或多组盘管组成；进口管从封头中间伸入钟罩式炉体内连接各组炉体顶部冷却盘管一端；炉体顶部冷却盘管另一端分别连接至出口管，从钟罩式炉体的顶部伸出。本实用新型通过对还原炉顶部强化传热，抵消由于热对流的影响导致还原炉内上部温度高于下部温度的现象，使炉内上下部温度均衡，有利于多晶硅致密性生长，提高多晶硅质量；避免中心气体由于辐射温度过高出现雾化现象，提高硅的转化率。

主权项

一种带内冷却系统的多晶硅还原炉，包括底盘、钟罩式炉体、封头、夹套、电极、硅芯、混合气体进气管以及尾气出气管；封头设于钟罩式炉体上方，钟罩式炉体罩设于底盘上，夹套罩设于钟罩式炉体外部；电极成对地设置在底盘上，硅芯通过石墨夹头安装在每对电极上；混合气进气管及尾气出气管分为数个喷口均匀设置在底盘上；其特征在于，所述钟罩式炉体的顶部设置有一炉体顶部冷却系统，包括炉体顶部冷却盘管、炉体顶部冷却盘管进口管以及炉体顶部冷却盘管出口管；所述炉体顶部冷却盘管由一组或多组盘管组成；所述炉体顶部冷却盘管进口管从封头中间伸入钟罩式炉体内，与各组炉体顶部冷却盘管的一端相连接；所述炉体顶部冷却盘管的另一端分别连接至炉体顶部冷却盘管出口管；所述炉体顶部冷却盘管出口管从钟罩式炉体的顶部伸出。