[实用新型]一种新型半导体元件连杆式测试机构有效
申请号: | 201620421986.4 | 申请日: | 2016-05-10 |
公开(公告)号: | CN205645761U | 公开(公告)日: | 2016-10-12 |
发明(设计)人: | 蔡建镁;黄新青;刘骏;张嘉鸿;齐建 | 申请(专利权)人: | 深圳市华腾半导体设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种新型半导体元件连杆式测试机构,包括支撑机构、微调机构、电机、连杆转动机构、直线滑轨运动机构、测试针机构、安全位置检测机构。其特征在于:所述支撑机构包括底板、立板、滑轨安装板及电机固定板,所述微调机构通过螺钉固定块与支撑机构连接,所述电机安装在电机固板上,所述连杆转动机构通过转轴夹紧块与电机连接,所述直线滑轨运动机构通过滑轨固定在支撑机构上,并通过关节轴承与连杆转动机构连接,所述测试针机构通过测试针安装座固定在直线滑轨运动机构上,所述安全位置检测机构通过感应器安装板固定在支撑机构上。本实用新型一种半导体元件连杆式测试机构采用刚性连接,将电机的旋转运动转化成测试针机构的直线运动,并带有安全位置检测机构与微调机构,整体结构简单,测试机构速度更快,更符合目前电子元器件的制作工艺,应用性更广。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 半导体 元件 连杆 测试 机构 | ||
【主权项】:
一种新型半导体元件连杆式测试机构,包括支撑机构、微调机构、电机、连杆转动机构、直线滑轨运动机构、测试针机构、安全位置检测机构;其特征在于:所述支撑机构包括底板、立板、滑轨安装板及电机固定板,所述微调机构通过调节螺钉与支撑机构连接,所述电机安装在电机固板上,所述连杆转动机构通过转轴夹紧块与电机连接,所述直线滑轨运动机构通过滑轨固定在支撑机构上,并通过关节轴承与连杆转动机构连接,所述测试针机构通过测试针安装座固定在直线滑轨运动机构上,所述安全位置检测机构通过感应器安装板固定在支撑机构上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造