[实用新型]一种新型半导体元件连杆式测试机构有效

专利信息
申请号: 201620421986.4 申请日: 2016-05-10
公开(公告)号: CN205645761U 公开(公告)日: 2016-10-12
发明(设计)人: 蔡建镁;黄新青;刘骏;张嘉鸿;齐建 申请(专利权)人: 深圳市华腾半导体设备有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深圳市南*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及一种新型半导体元件连杆式测试机构,包括支撑机构、微调机构、电机、连杆转动机构、直线滑轨运动机构、测试针机构、安全位置检测机构。其特征在于:所述支撑机构包括底板、立板、滑轨安装板及电机固定板,所述微调机构通过螺钉固定块与支撑机构连接,所述电机安装在电机固板上,所述连杆转动机构通过转轴夹紧块与电机连接,所述直线滑轨运动机构通过滑轨固定在支撑机构上,并通过关节轴承与连杆转动机构连接,所述测试针机构通过测试针安装座固定在直线滑轨运动机构上,所述安全位置检测机构通过感应器安装板固定在支撑机构上。本实用新型一种半导体元件连杆式测试机构采用刚性连接,将电机的旋转运动转化成测试针机构的直线运动,并带有安全位置检测机构与微调机构,整体结构简单,测试机构速度更快,更符合目前电子元器件的制作工艺,应用性更广。
搜索关键词: 一种 新型 半导体 元件 连杆 测试 机构
【主权项】:
一种新型半导体元件连杆式测试机构,包括支撑机构、微调机构、电机、连杆转动机构、直线滑轨运动机构、测试针机构、安全位置检测机构;其特征在于:所述支撑机构包括底板、立板、滑轨安装板及电机固定板,所述微调机构通过调节螺钉与支撑机构连接,所述电机安装在电机固板上,所述连杆转动机构通过转轴夹紧块与电机连接,所述直线滑轨运动机构通过滑轨固定在支撑机构上,并通过关节轴承与连杆转动机构连接,所述测试针机构通过测试针安装座固定在直线滑轨运动机构上,所述安全位置检测机构通过感应器安装板固定在支撑机构上。
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