[实用新型]金属有机化学气相沉积设备反应腔体结构

摘要

本实用新型公开了一种金属有机化学气相沉积设备反应腔体结构，包括用于外延片生长的衬底承载盘(1)、进气装置(2)、出气装置(3)，衬底承载盘(1)存放在壳体(4)所设的密封腔体内，衬底承载盘(1)通过支撑杆直立支撑，进气装置(2)装设在密封腔体顶部，出气装置(3)装设密封腔体底部。本实用新型可提高单炉产量，降低反应能耗从而降低生产成本，保证淀积的均匀性，实时监测腔体环境参数，提高反应效率。

主权项

一种金属有机化学气相沉积设备反应腔体结构一种金属有机化学气相沉积设备，其特征在于包括用于外延片生长的衬底承载盘(1)、进气装置(2)、出气装置(3)，衬底承载盘(1)存放在壳体(4)所设的密封腔体内，衬底承载盘(1)通过支撑杆直立支撑，进气装置(2)装设在密封腔体顶部，出气装置(3)装设密封腔体底部。