[实用新型]一种用于制备太阳能电池硅片纳微绒面的载板

摘要

本实用新型公开一种用于制备太阳能电池硅片纳微绒面的载板，包括板体，还包括定位条和陪片，所述定位条固定于所述板体上，将板体分隔成若干个硅片放置区，所述板体的边缘留置缓冲保护区，所述缓冲保护区内设置陪片。本实用新型的板体采用铝等耐等离子体冲击的材质，能够适应纳微绒面制备的环境，且经久耐用；通过在载板本体上设置定位条，可将待加工硅片稳定的固定在载板上，固定效果最佳，有效降低了加工碎片率和不良品的产生率；将定位条的尺寸设计为3~5 mm*3~5 mm*1~2 mm，可有效避免定位条遮挡待加工硅片表面，造成局部区域不良的现象；通过设置特定尺寸的陪片，可以避免由于过渡太突兀造成的硅片边缘绒面不良的情况。

主权项

一种用于制备太阳能电池硅片纳微绒面的载板，包括板体，其特征在于：还包括定位条和陪片，所述定位条固定于所述板体上，将板体分隔成若干个硅片放置区，所述板体的边缘留置缓冲保护区，所述缓冲保护区内设置陪片。