[实用新型]一种蓝宝石单晶炉真空系统用的连接法兰有效
申请号: | 201620231887.X | 申请日: | 2016-03-24 |
公开(公告)号: | CN205556855U | 公开(公告)日: | 2016-09-07 |
发明(设计)人: | 高佑君;李志强;代小波;王光明 | 申请(专利权)人: | 独山晶科光电信息材料有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B35/00 |
代理公司: | 北京联创佳为专利事务所(普通合伙) 11362 | 代理人: | 郭防;韩炜 |
地址: | 558200 贵州省黔南*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种蓝宝石单晶炉真空系统用的连接法兰,包括有法兰本体(1),法兰本体(1)内设有导流槽(6),法兰本体(1)上设有与导流槽(6)导通的冷却水入口(2)和冷却水出口(3),法兰本体(1)的通孔内设有支撑架(5),支撑架(5)上连接有若干过滤板(4)。本实用新型具有能减缓密封垫圈老化损坏速度,延长密封垫圈的使用寿命,能凝结部分抽出气体中的挥发物,降低挥发物对真空泵的性能和寿命的影响的有益效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 单晶炉 真空 系统 连接 法兰 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石单晶炉真空系统用的连接法兰,其特征在于:包括有法兰本体(1),法兰本体(1)内设有导流槽(6),法兰本体(1)上设有与导流槽(6)导通的冷却水入口(2)和冷却水出口(3),法兰本体(1)的通孔内设有支撑架(5),支撑架(5)上连接有若干过滤板(4)。
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