[实用新型]用于电子束热蒸发系统的防溅射外罩

摘要

本实用新型公开了用于电子束热蒸发系统的防溅射外罩，其包括：外罩支撑体、导流环、导流腔和导流通道，外罩支撑体与坩埚接触且受坩埚的顶端边缘支撑；所述导流环设置在所述外罩支撑体的内圆上，导流环顶部端面为斜面，在所述斜面上设有若干导流气孔；所述导流腔为漏斗形结构，融化状态的蒸镀材料流入导流腔；导流通道顶部端面设有第一圆孔，第一圆孔与导流腔贯通，导流通道的侧壁上设有五个斜方向圆孔，融化的蒸镀材料液滴由第一圆孔滴入，顺着斜方向圆孔滴入至所述坩埚中，最终滴落至所述坩埚底部。本实用新型的防溅射外罩，结构简单，设计合理，能够有效的防止液滴溅射，避免溅射的颗粒对镀膜造成损坏，提高了镀膜品质。

主权项

用于电子束热蒸发系统的防溅射外罩，其特征在于，其包括：外罩支撑体，所述外罩支撑体与坩埚接触且受所述坩埚的顶端边缘支撑，所述外罩支撑体为圆环形结构；导流环，所述导流环设置在所述外罩支撑体的内圆上，所述导流环顶部端面为斜面，在所述斜面上设有若干导流气孔，所述坩埚内部的蒸汽通过所述导流气孔；导流腔，所述导流腔为漏斗形结构，所述导流腔的上部边缘连接至所述导流环的下部边缘，融化状态的蒸镀材料流入所述导流腔；导流通道，所述导流通道为圆柱体，所述导流通道的上端连接至所述导流腔的底部，所述导流通道深入至所述坩埚中，所述导流通道顶部端面设有第一圆孔，所述第一圆孔与所述导流腔贯通，所述导流通道的侧壁上设有五个斜方向圆孔，融化的蒸镀材料液滴由所述第一圆孔滴入，顺着所述斜方向圆孔滴入至所述坩埚中，最终滴落至所述坩埚底部。