[实用新型]用于电子束热蒸发系统的防溅射外罩

权利要求书

1.用于电子束热蒸发系统的防溅射外罩，其特征在于，其包括：

外罩支撑体，所述外罩支撑体与坩埚接触且受所述坩埚的顶端边缘支撑， 所述外罩支撑体为圆环形结构；

导流环，所述导流环设置在所述外罩支撑体的内圆上，所述导流环顶部 端面为斜面，在所述斜面上设有若干导流气孔，所述坩埚内部的蒸汽通过所 述导流气孔；

导流腔，所述导流腔为漏斗形结构，所述导流腔的上部边缘连接至所述 导流环的下部边缘，融化状态的蒸镀材料流入所述导流腔；

导流通道，所述导流通道为圆柱体，所述导流通道的上端连接至所述导 流腔的底部，所述导流通道深入至所述坩埚中，所述导流通道顶部端面设有 第一圆孔，所述第一圆孔与所述导流腔贯通，所述导流通道的侧壁上设有五 个斜方向圆孔，融化的蒸镀材料液滴由所述第一圆孔滴入，顺着所述斜方向 圆孔滴入至所述坩埚中，最终滴落至所述坩埚底部。

2.根据权利要求1所述的用于电子束热蒸发系统的防溅射外罩，其特征 在于，所述导流通道的底部端面为平面。

3.根据权利要求2所述的用于电子束热蒸发系统的防溅射外罩，其特征 在于，所述导流通道底部端面阻挡来自所述坩埚底部飞溅的液滴。

4.根据权利要求1所述的用于电子束热蒸发系统的防溅射外罩，其特征 在于，所述导流腔的外部漏斗面阻挡来自所述坩埚底部飞溅的液滴。

5.根据权利要求1所述的用于电子束热蒸发系统的防溅射外罩，其特征 在于，所述导流气孔等间距的设置在所述导流环上。

6.根据权利要求1所述的用于电子束热蒸发系统的防溅射外罩，其特征 在于，所述外罩支撑体、导流环、导流腔一体成型。