[发明专利]具有原位沉积功能的带电粒子显微镜在审
| 申请号： | 201611243428.4 | 申请日： | 2016-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN107437489A | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | J.米特彻斯;R.沙姆佩斯;M.赫劳泽克;T.加德卡 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 周学斌,张涛 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种带电粒子显微镜，包括真空室，在该真空室中提供了—样本保持器，其用于将样本保持在照射位置；—粒子光学柱，其用于产生带电粒子束并引导该带电粒子束从而照射该样本；—检测器，其用于响应于被所述射束照射来检测从样本发出的辐射通量，其中—所述真空室包括原位磁控管溅射沉积模块，其包括用于产生目标材料的蒸气流的磁控管溅射源；—载台被配置成使包括所述样本的至少一部分的样品在所述照射位置与所述沉积模块处的单独沉积位置之间移动；—所述沉积模块被配置成当所述样品被保持在所述沉积位置处时将一层所述目标材料沉积到所述样品上。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 原位 沉积 功能 带电 粒子 显微镜 | ||
【主权项】：
一种带电粒子显微镜，包括真空室，在该真空室中提供了：—样本保持器，其用于将样本保持在照射位置；—粒子光学柱，其用于产生带电粒子束并引导该带电粒子束从而照射该样本；—检测器，其用于响应于被所述射束照射来检测从样本发出的辐射通量，其特征在于：—所述真空室包括原位磁控管溅射沉积模块，其包括用于产生目标材料的蒸气流的磁控管溅射源；—载台被配置成使包括所述样本的至少一部分的样品在所述照射位置与所述沉积模块处的单独沉积位置之间移动；—所述沉积模块被配置成当所述样品被保持在所述沉积位置处时将一层所述目标材料沉积到所述样品上。
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