[发明专利]具有原位沉积功能的带电粒子显微镜

权利要求书

1.一种带电粒子显微镜，包括真空室，在该真空室中提供了：

—样本保持器，其用于将样本保持在照射位置；

—粒子光学柱，其用于产生带电粒子束并引导该带电粒子束从而照射该样本；

—检测器，其用于响应于被所述射束照射来检测从样本发出的辐射通量，

其特征在于：

—所述真空室包括原位磁控管溅射沉积模块，其包括用于产生目标材料的蒸气流的磁控管溅射源；

—载台被配置成使包括所述样本的至少一部分的样品在所述照射位置与所述沉积模块处的单独沉积位置之间移动；

—所述沉积模块被配置成当所述样品被保持在所述沉积位置处时将一层所述目标材料沉积到所述样品上。

2.根据权利要求1所述的显微镜，其中，所述沉积模块包括限制孔径，其布置在所述溅射源与所述沉积位置之间，用于限制在所述沉积位置处呈现的所述蒸气流的影响范围。

3.根据权利要求1或2所述的显微镜，其中，所述沉积模块包括围绕所述沉积位置的周界的套罩，以用于减少所述蒸气流到所述真空室的迁移。

4.根据权利要求1—3中的任一项所述的显微镜，其中，所述沉积模块包括管状构件，其被配置成使得：

—所述溅射源被布置为邻近于所述管状构件的第一末端；

—所述沉积位置被布置为邻近于所述管状构件的第二、相对末端。

5.根据权利要求1—4中的任一项所述的显微镜，其为双射束显微镜，其包括：

—电子光学柱，其用于产生电子束并引导该电子束从而照射该样本；

—离子光学柱，其用于产生离子束并引导该离子束从而照射该样本。

6.根据权利要求1—5中的任一项所述的显微镜，其中，所述沉积模块被配置成在不使用时可缩回。

7.一种使用带电粒子显微镜的方法，包括真空室，在该真空室中提供了：

—样本保持器，其用于将样本保持在照射位置；

—粒子光学柱，其用于产生带电粒子束并引导该带电粒子束从而照射该样本；

—检测器，其用于响应于被所述射束照射来检测从样本发出的辐射通量，

在该方法中使用带电粒子束在所述照射位置处照射样本，

其特征在于以下步骤：

—在所述真空室中提供原位磁控管溅射沉积模块，其包括用于产生目标材料的蒸气流的磁控管溅射源；

—使用载台来将包括所述样本的至少一部分的样品从所述照射位置移动至所述沉积模块处的单独沉积位置；

—使用所述沉积模块将一层所述目标材料沉积到所述样品上。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，在已在所述样品上沉积所述目标材料之后，使用所述载台来将样品移回到所述照射位置，以用于样品的检查。

9.根据权利要求7或8所述的方法，其中，所述显微镜是双射束显微镜，其包括：

—电子光学柱，其用于产生电子束并引导该电子束从而照射该样本；

—离子光学柱，其用于产生离子束并引导该离子束从而照射该样本；

该方法包括在所述照射位置处执行以下动作：

—使用所述电子束来形成所述样本的图像；

—使用所述离子束来从所述样本切出样品，

该样品随后被用所述载台移动至所述沉积位置。

10.根据权利要求7—9中的任一项所述的方法，其中，溅射气体被具体地给予到沉积模块中的溅射源的附近。

11.根据权利要求7—9中的任一项所述的方法，其中，溅射气体被一般地给予到真空室的内部。