[发明专利]基板保持单元和具有该基板保持单元的划片设备在审
| 申请号： | 201611236796.6 | 申请日： | 2016-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108218214A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 张喜童 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/03 | 分类号： | C03B33/03;C03B33/10 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳;李英艳 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板保持单元和具有该基板保持单元的划片设备。根据本发明的示例性实施例的基板保持单元可包括：第一保持构件和第二保持构件，其被设置为沿基板的厚度方向彼此隔开；第一支架，第一保持构件被连接到该第一支架，以便能够围绕平行于第一保持构件的纵向的轴线旋转；第二支架，第二保持构件被连接到该第二支架，以便能够围绕平行于第二保持构件的纵向的轴线旋转；以及驱动单元，其移动第一支架与第二支架中的至少一个支架，使得第一保持构件和第二保持构件可以彼此靠近和远离。 | ||
| 搜索关键词： | 保持构件 支架 基板保持单元 划片设备 轴线旋转 平行 驱动单元 隔开 基板 移动 | ||
【主权项】：
1.一种用于保持划片设备的基板的基板保持单元，所述基板保持单元包括：第一保持构件和第二保持构件，其被设置为沿所述基板的厚度方向彼此隔开；第一支架，所述第一保持构件被连接到所述第一支架，以便能够围绕平行于所述第一保持构件的纵向的轴线旋转；第二支架，所述第二保持构件被连接到所述第二支架，以便能够围绕平行于所述第二保持构件的纵向的轴线旋转；以及驱动单元，其移动所述第一支架和所述第二支架中的至少一个支架，使得所述第一保持构件和所述第二保持构件可以彼此靠近和远离。
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