[发明专利]利用MEMS技术的促动系统有效
| 申请号： | 201611234085.5 | 申请日： | 2016-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN107035526B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | T.O.莫尼斯;J.G.罗斯;R.J.奥尔兰多;C.J.仇 | 申请（专利权）人： | 通用电气公司 |
| 主分类号： | F02C7/00 | 分类号： | F02C7/00;F02C9/00 |
| 代理公司： | 72001 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吴俊;安文森 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种利用MEMS技术的促动系统。一种促动器(402)，其包括泵(705)，该泵(705)包括第一腔(708)以及与第一腔流动连通联接的隔膜(704)。隔膜构造成使容纳在第一腔中的流体加压。泵还包括与第一腔流动连通联接的第一阀(706)。第一阀构造成在第一腔加压时将流体从第一腔释放。促动器还包括操作性地联接于泵的活塞组件(712,713)。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 mems 技术 促动 系统 | ||
【主权项】：
1.一种促动器，其包括：/n泵，其包括：/n第一腔；/n隔膜，其与所述第一腔流动连通联接，所述隔膜构造成使容纳在所述第一腔中的流体加压；以及/n第一阀，其与所述第一腔流动连通联接，所述第一阀构造成在所述第一腔被加压时将流体从所述第一腔释放；/n活塞组件，其操作性地联接于所述泵；以及/nMEMS控制器和MEMS模块，所述MEMS控制器构造成将MEMS控制信号传送至所述MEMS模块，以便于所述隔膜的命令移动，以使所述第一腔加压。/n
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