[发明专利]一种离子注入设备及其使用方法在审
| 申请号： | 201611208453.9 | 申请日： | 2016-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN106783491A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 张豪峰;陈建荣;任思雨;苏君海;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/24;H01J37/30;H01J37/317 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司44102 | 代理人： | 缪恩生 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种离子注入设备，依次包括离子源、磁场、中和离子束通道及处理腔室，还包括PFG系统，所述的PFG系统设置在中和离子束通道，所述的PFG系统包括中和离子注入器和中和离子引出部，所述的中和离子引出部包裹中和离子束通道，所述的中和离子引出部设置有多个引出电源，所述的引出电源用以单独输出引出电压，从而使得PFG系统的中和离子与磁场出来的离子进行中和。本发明利用多个引出电源，从而控制PFG系统出来的电子雨幕的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 设备 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种离子注入设备，依次包括离子源、磁场、中和离子束通道及处理腔室，其特征在于，还包括PFG系统，所述的PFG系统设置在中和离子束通道，所述的PFG系统包括中和离子注入器和中和离子引出部，所述的中和离子引出部包裹中和离子束通道，所述的中和离子引出部设置有多个引出电源，所述的引出电源用以单独输出引出电压，从而使得PFG系统的中和离子与磁场出来的离子进行中和。
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