[发明专利]基板检查装置

摘要

本发明提供一种能够实现基板的两面检查涉及的检查精度的提高，并且能够实现检查的高速化的基板检查装置。基板检查装置(1)具有用于进行印刷基板(P1)的上表面侧的检查的上表面检查单元(3)、以及用于进行印刷基板(P1)的下表面侧的检查的下表面检查单元(4)。各检查单元(3、4)具有分别对印刷基板(P1)照射条纹图案的检查照明(3A、4A)等、以及拍摄印刷基板(P1)的检查相机(3C、4C)。并且，交替性进行由上表面检查单元(3)进行的预定的检查范围涉及的多个拍摄处理中的一次拍摄处理、以及由下表面检查单元(4)进行的预定的检查范围涉及的多个拍摄处理中的一次拍摄处理。

主权项

一种基板检查装置，所述基板检查装置检查基板的表面背面两面，其特征在于，包括：至少一个表面侧照射单元，所述至少一个表面侧照射单元能够向所述基板的表面侧的预定的检查范围照射预定的光；表面侧拍摄单元，所述表面侧拍摄单元能够拍摄被照射了预定的光的所述基板的表面侧的预定的检查范围；至少一个背面侧照射单元，所述至少一个背面侧照射单元能够向所述基板的背面侧的预定的检查范围照射预定的光；背面侧拍摄单元，所述背面侧拍摄单元能够拍摄被照射了预定的光的所述基板的背面侧的预定的检查范围；以及检查单元，所述检查单元能够基于通过由所述表面侧照射单元及所述表面侧拍摄单元进行的所述基板的表面侧的预定的检查范围涉及的图像获取处理来获取的多个图像数据，来执行该检查范围涉及的检查，并且能够基于通过由所述背面侧照射单元及所述背面侧拍摄单元进行的所述基板的背面侧的预定的检查范围涉及的图像获取处理来获取的多个图像数据，来执行该检查范围涉及的检查，在从所述表面侧照射单元照射光、且停止来自所述背面侧照射单元的光的照射，并执行了由所述表面侧拍摄单元进行的预定的检查范围涉及的多个拍摄处理中的一次拍摄处理之后，停止来自所述表面侧照射单元的光的照射、且从所述背面侧照射单元照射光，执行由所述背面侧拍摄单元进行的预定的检查范围涉及的多个拍摄处理中的一次拍摄处理，以及在从所述背面侧照射单元照射光、且停止来自所述表面侧照射单元的光的照射，并执行了由所述背面侧拍摄单元进行的预定的检查范围涉及的多个拍摄处理中的一次拍摄处理之后，停止来自所述背面侧照射单元的光的照射、且从所述表面侧照射单元照射光，执行由所述表面侧拍摄单元进行的预定的检查范围涉及的多个拍摄处理中的一次拍摄处理，由此，能够执行特定处理，所述特定处理是交替性进行由所述表面侧拍摄单元进行的预定的检查范围涉及的多个拍摄处理中的一次拍摄处理、以及由所述背面侧拍摄单元进行的预定的检查范围涉及的多个拍摄处理中的一次拍摄处理的处理。