[发明专利]一种利用电弧离子镀在模具表面制备多层薄膜的方法在审
| 申请号： | 201611137139.6 | 申请日： | 2016-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN108220889A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 曹玉坤 | 申请（专利权）人： | 沈阳云美科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/16;C23C14/06;C23C8/36;C23C28/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110003 辽宁省沈阳市*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种镀膜工艺，具体涉及一种利用电弧离子镀在模具表面制备多层薄膜的方法。本发明的技术方案如下：包括如下步骤：1)模具表面等离子体氮化；2)采用电弧离子镀方式在待镀模具表面制备第一层薄膜；3)采用电弧离子镀方式在第一层薄膜上继续制备第二层薄膜；4)采用电弧离子镀方式在第二层薄膜上继续制备第三层薄膜；5)薄膜微喷砂处理。本发明提供的一种利用电弧离子镀在模具表面制备多层薄膜的方法，能够提高锻造模具表面质量和使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 电弧离子镀 制备 模具表面 薄膜 多层薄膜 第一层 等离子体氮化 镀膜工艺 锻造模具 使用寿命 第三层 砂处理 微喷 | ||
【主权项】：
1.一种利用电弧离子镀在模具表面制备多层薄膜的方法，其特征在于，包括如下步骤：1)模具表面等离子体氮化，将模具放入真空等离子体氮化炉处理，形成氮化层；对等离子体氮化后的模具表面进行微喷砂处理，再进行清洗，然后将模具装入工装内并置于镀膜真空腔中；2)采用电弧离子镀方式在待镀模具表面制备第一层薄膜，第一层薄膜为Mn薄膜，厚度为50～60nm；3)采用电弧离子镀方式在第一层薄膜上继续制备第二层薄膜，第二层薄膜为CrSiZn薄膜，厚度为240～280nm；4)采用电弧离子镀方式在第二层薄膜上继续制备第三层薄膜，第三层薄膜为TiAlSiCN薄膜，厚度为4～5μm；5)薄膜微喷砂处理，采用Al2O3沙粒对薄膜进行喷砂表面细化处理。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳云美科技有限公司，未经沈阳云美科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611137139.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
