[发明专利]一种利用电弧离子镀在模具表面制备多层薄膜的方法在审
申请号: | 201611137139.6 | 申请日: | 2016-12-12 |
公开(公告)号: | CN108220889A | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 曹玉坤 | 申请(专利权)人: | 沈阳云美科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/16;C23C14/06;C23C8/36;C23C28/00 |
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地址: | 110003 辽宁省沈阳市*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电弧离子镀 制备 模具表面 薄膜 多层薄膜 第一层 等离子体氮化 镀膜工艺 锻造模具 使用寿命 第三层 砂处理 微喷 | ||
本发明涉及一种镀膜工艺,具体涉及一种利用电弧离子镀在模具表面制备多层薄膜的方法。本发明的技术方案如下:包括如下步骤:1)模具表面等离子体氮化;2)采用电弧离子镀方式在待镀模具表面制备第一层薄膜;3)采用电弧离子镀方式在第一层薄膜上继续制备第二层薄膜;4)采用电弧离子镀方式在第二层薄膜上继续制备第三层薄膜;5)薄膜微喷砂处理。本发明提供的一种利用电弧离子镀在模具表面制备多层薄膜的方法,能够提高锻造模具表面质量和使用寿命。
技术领域
本发明涉及一种镀膜工艺,具体涉及一种利用电弧离子镀在模具表面制备多层薄膜的方法。
背景技术
零件采用高温合金和钛合金,形状复杂,变形抗力大,其锻造模具服役条件极为苛刻,突出的表现在三方面:工作环境为高温和急热、急冷、承受载荷为重载和高速冲击,锻压过程为毛坯在模具表面的剧烈大变形和模具表面的摩擦磨损等,由此导致热锻模型腔面摩擦、磨损及热疲劳等失效,直接影响锻件表面光洁度和模具寿命,使锻件质量稳定性下降和生产成本的大幅增加。由于零件锻造模具制造困难,周期长,成本较高。
发明内容
本发明提供一种利用电弧离子镀在模具表面制备多层薄膜的方法,能够提高锻造模具表面质量和使用寿命。
本发明的技术方案如下:
一种利用电弧离子镀在模具表面制备多层薄膜的方法,包括如下步骤:
1)模具表面等离子体氮化,将模具放入真空等离子体氮化炉处理,形成氮化层;对等离子体氮化后的模具表面进行微喷砂处理,再进行清洗,然后将模具装入工装内并置于镀膜真空腔中;
2)采用电弧离子镀方式在待镀模具表面制备第一层薄膜,第一层薄膜为Mn薄膜,厚度为50~60nm;
3)采用电弧离子镀方式在第一层薄膜上继续制备第二层薄膜,第二层薄膜为CrSiZn薄膜,厚度为240~280nm;
4)采用电弧离子镀方式在第二层薄膜上继续制备第三层薄膜,第三层薄膜为TiAlSiCN薄膜,厚度为4~5μm;
5)薄膜微喷砂处理,采用Al2O3沙粒对薄膜进行喷砂表面细化处理。
本发明的有益效果为:本发明有利于模具脱模,明显缩短模具修模次数和保养周期;耐热疲劳稳定性好,可以防止模具过早开裂、龟裂、掉肉;能够提高模具抗腐蚀能力,提高模具使用寿命,在提高锻件产品质量的同时,减少加工调整步骤,提高了加工效率。
具体实施方式
一种利用电弧离子镀在模具表面制备多层薄膜的方法,包括如下步骤:
1)模具表面等离子体氮化,将模具放入真空等离子体氮化炉处理,形成氮化层;对等离子体氮化后的模具表面进行微喷砂处理,再进行清洗,然后将模具装入工装内并置于镀膜真空腔中;
2)采用电弧离子镀方式在待镀模具表面制备第一层薄膜,第一层薄膜为Mn薄膜,厚度为60nm;
3)采用电弧离子镀方式在第一层薄膜上继续制备第二层薄膜,第二层薄膜为CrSiZn薄膜,厚度为260nm;
4)采用电弧离子镀方式在第二层薄膜上继续制备第三层薄膜,第三层薄膜为TiAlSiCN薄膜,厚度为5μm;
5)薄膜微喷砂处理,采用Al2O3沙粒对薄膜进行喷砂表面细化处理。
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