[发明专利]一种利用电弧离子镀在模具表面制备多层薄膜的方法在审
| 申请号： | 201611137139.6 | 申请日： | 2016-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN108220889A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 曹玉坤 | 申请（专利权）人： | 沈阳云美科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/16;C23C14/06;C23C8/36;C23C28/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110003 辽宁省沈阳市*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电弧离子镀 制备 模具表面 薄膜 多层薄膜 第一层 等离子体氮化 镀膜工艺 锻造模具 使用寿命 第三层 砂处理 微喷 | ||
【权利要求书】：
1.一种利用电弧离子镀在模具表面制备多层薄膜的方法，其特征在于，包括如下步骤：
1)模具表面等离子体氮化，将模具放入真空等离子体氮化炉处理，形成氮化层；对等离子体氮化后的模具表面进行微喷砂处理，再进行清洗，然后将模具装入工装内并置于镀膜真空腔中；
2)采用电弧离子镀方式在待镀模具表面制备第一层薄膜，第一层薄膜为Mn薄膜，厚度为50～60nm；
3)采用电弧离子镀方式在第一层薄膜上继续制备第二层薄膜，第二层薄膜为CrSiZn薄膜，厚度为240～280nm；
4)采用电弧离子镀方式在第二层薄膜上继续制备第三层薄膜，第三层薄膜为TiAlSiCN薄膜，厚度为4～5μm；
5)薄膜微喷砂处理，采用Al2O3沙粒对薄膜进行喷砂表面细化处理。
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