[发明专利]电子显微镜的工作距离的校准装置有效
| 申请号： | 201611135920.X | 申请日： | 2016-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN106783495B | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 孙占峰;朱汉生 | 申请（专利权）人： | 北京中科科仪股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 周美华 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电子显微镜的工作距离的校准装置，该校准装置包括：校准基体(10)，用于安装在电子显微镜的样品台上，校准基体(10)具有沿其轴向且朝向电子显微镜的物镜极靴设置的若干个校准平面(121)及向物镜极靴突出且通过与物镜极靴接触配合以实现校准基体(10)定位的定位凸起(11)，若干个校准平面(121)中至少一个校准平面(121)上设有具有聚焦功能的至少三个校准孔(131)，在电子显微镜聚焦不变且所有校准孔(131)同时聚焦清楚时，物镜极靴的下表面至每一校准平面(121)的距离为电子显微镜设定的工作距离。本发明的技术方案有效地解决了现有技术中没有校准装置对扫描电子显微镜的工作距离的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 电子显微镜 工作 距离 校准 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电子显微镜的工作距离的校准装置，其特征在于，包括：校准基体(10)，用于安装在所述电子显微镜的样品台上，所述校准基体(10)具有沿其轴向且朝向所述电子显微镜的物镜极靴设置的若干个校准平面(121)及向所述物镜极靴突出且通过与所述物镜极靴接触配合以实现所述校准基体(10)定位的定位凸起(11)，所述若干个校准平面(121)中至少一个所述校准平面(121)上设有具有聚焦功能的至少三个校准孔(131)，在所述电子显微镜聚焦不变且所有校准孔(131)同时聚焦清楚时，所述物镜极靴的下表面至每一所述校准平面(121)的距离为所述电子显微镜设定的工作距离。
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