[发明专利]电子显微镜的工作距离的校准装置

权利要求书

1.一种电子显微镜的工作距离的校准装置，其特征在于，包括：

校准基体(10)，用于安装在所述电子显微镜的样品台上，所述校准基体(10)具有沿其轴向且朝向所述电子显微镜的物镜极靴设置的若干个校准平面(121)及向所述物镜极靴突出且通过与所述物镜极靴接触配合以实现所述校准基体(10)定位的定位凸起(11)，所述若干个校准平面(121)中至少一个所述校准平面(121)上设有具有聚焦功能的至少三个校准孔(131)，在所述电子显微镜聚焦不变且所有校准孔(131)同时聚焦清楚时，所述物镜极靴的下表面至每一所述校准平面(121)的距离为所述电子显微镜设定的工作距离。

2.根据权利要求1所述的校准装置，其特征在于，所述校准平面(121)的个数不少于两个时，其中一个所述校准平面(121)设有至少三个所述校准孔(131)，其余的所述校准平面(121)上设有至少一个校准孔(131)。

3.根据权利要求2所述的校准装置，其特征在于，所述校准基体(10)为具有至少两个台阶(12)的柱形台阶状结构，每一所述台阶(12)的朝向所述物镜极靴的台阶面形成所述校准平面(121)；所述台阶面上设有安装槽，所述安装槽中安装校准光兰(13)，所述校准光兰(13)的中心成型有所述校准孔(131)，所述校准光兰(13)的朝向所述物镜极靴的表面与其所在的所述台阶面重合；所述定位凸起(11)设置在最靠近所述物镜极靴的所述校准平面(121)上。

4.根据权利要求3所述的校准装置，其特征在于，所述校准基体(10)为圆柱形台阶状结构，所述至少三个校准孔(131)沿所述校准基体(10)的圆周方向分布。

5.根据权利要求1所述的校准装置，其特征在于，所述定位凸起(11)的朝向所述物镜极靴的一端呈半球形。

6.根据权利要求3所述的校准装置，其特征在于，所述校准装置还包括真空导电固定部(14)，所述真空导电固定部(14)覆盖在所述校准光兰(13)和所述校准平面(121)的相邻的边缘处。

7.根据权利要求3所述的校准装置，其特征在于，所述校准光兰(13)为圆形，所述校准光兰(13)的直径为3mm。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的校准装置，其特征在于，所述校准孔(131)的直径在10μm～100μm的范围内，和/或，所述定位凸起(11)的沿所述校准基体的轴线的长度为5mm，所述校准平面(121)的个数为四个时，相邻的两个所述校准平面(121)之间的距离为5mm，以使所述工作距离分别为5mm、10mm、15mm、20mm。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的校准装置，其特征在于，所述校准基体(10)的远离所述物镜极靴的表面上设置安装柱(15)，所述安装柱(15)用于安装在所述样品台上的安装孔中。

10.根据权利要求1至7中任一项所述的校准装置，其特征在于，每个所述校准平面(121)上设有对应所述工作距离的数值。