[发明专利]电子显微镜的工作距离的校准装置

说明书

本发明提供了一种电子显微镜的工作距离的校准装置，该校准装置包括：校准基体(10)，用于安装在电子显微镜的样品台上，校准基体(10)具有沿其轴向且朝向电子显微镜的物镜极靴设置的若干个校准平面(121)及向物镜极靴突出且通过与物镜极靴接触配合以实现校准基体(10)定位的定位凸起(11)，若干个校准平面(121)中至少一个校准平面(121)上设有具有聚焦功能的至少三个校准孔(131)，在电子显微镜聚焦不变且所有校准孔(131)同时聚焦清楚时，物镜极靴的下表面至每一校准平面(121)的距离为电子显微镜设定的工作距离。本发明的技术方案有效地解决了现有技术中没有校准装置对扫描电子显微镜的工作距离的问题。

技术领域

本发明涉及仪器仪表技术领域，具体涉及一种电子显微镜的工作距离的校准装置。

背景技术

目前，扫描电子显微镜的工作距离是指样品表面与物镜下极靴的下表面之间的距离，在仪器出厂前需要进行校准。工作距离的校准是扫描电子显微镜调试和校准过程中非常重要的一部分工作。但是，现有技术中并没有专门的校准装置对工作距离进行校准。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种电子显微镜的工作距离的校准装置，以解决现有技术中没有校准装置对扫描电子显微镜的工作距离的问题。

为了实现上述目的，本发明提供了一种电子显微镜的工作距离的校准装置，包括：校准基体，用于安装在电子显微镜的样品台上，校准基体具有沿其轴向且朝向电子显微镜的物镜极靴设置的若干个校准平面及向物镜极靴突出且通过与物镜极靴接触配合以实现校准基体定位的定位凸起，若干个校准平面中至少一个校准平面上设有具有聚焦功能的至少三个校准孔，在电子显微镜聚焦不变且所有校准孔同时聚焦清楚时，物镜极靴的下表面至每一校准平面的距离为电子显微镜设定的工作距离。

进一步地，校准平面的个数不少于两个时，其中一个校准平面设有至少三个校准孔，其余的校准平面上设有至少一个校准孔。

进一步地，校准基体为具有至少两个台阶的柱形台阶状结构，每一台阶的朝向物镜极靴的台阶面形成校准平面；台阶面上设有安装槽，安装槽中安装校准光兰，校准光兰的中心成型有校准孔，校准光兰的朝向物镜极靴的表面与其所在的台阶面重合；定位凸起设置在最靠近物镜极靴的校准平面上。

进一步地，校准基体为圆柱形台阶状结构，至少三个校准孔沿校准基体的圆周方向分布。

进一步地，定位凸起的朝向物镜极靴的一端呈半球形。

进一步地，校准装置还包括真空导电固定部，真空导电固定部覆盖在校准光兰和校准平面的相邻的边缘处。

进一步地，校准光兰为圆形，校准光兰的直径为3mm。

进一步地，校准孔的直径在10μm～100μm的范围内，和/或，定位凸起的沿校准基体的轴线的长度为5mm，校准平面的个数为四个时，相邻的两个校准平面之间的距离为5mm，以使工作距离分别为5mm、10mm、15mm、20mm。

进一步地，校准基体的远离物镜极靴的表面上设置安装柱，安装柱用于安装在样品台上的安装孔中。

进一步地，，每个校准平面上设有对应工作距离的数值。