[发明专利]金及其合金表面透明类金刚石纳米薄膜及其制备方法

摘要

本发明公开了金及其合金表面透明类金刚石纳米薄膜及其制备方法。该制备方法去先在金及其合金表面预处理，然后采用离子源轰击清洗样品表面；再制备氧化物过渡镀层及其厚度控制；同时开启离子源和磁控溅射源，所述磁控溅射靶为含有金溶解元素和能形成碳化物的元素的磁控溅射合金靶，且其中金溶解元素的原子百分含量为10‑30at％；采用膜厚监控仪在线监控涂层厚度，控制该合金涂层的厚度1‑2纳米；最后制备高透明度类金刚石涂层。本发明制备的其合金表面耐腐蚀抗变色处理用类金刚石涂层具有高附着力、高透明度、抗刮划特性。

主权项

1.一种金及其合金表面透明类金刚石纳米薄膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：1)金及其合金表面预处理，去除表面污染物；2)将预处理后的金及其合金固定在工件托架上，采用离子源轰击清洗样品表面；3)制备氧化物过渡镀层及其厚度控制：同时开启离子源和磁控溅射源，所用的磁控溅射靶为含有金溶解元素和能形成碳化物的元素的磁控溅射合金靶，且其中金溶解元素的原子百分含量为10‑30at％；采用膜厚监控仪在线监控氧化物过渡镀层厚度，控制该氧化物过渡镀层的厚度1‑2纳米；所述金溶解元素为铝或镍；4)制备高透明度类金刚石涂层；通入氩气和碳氢化合物的混合气体，维持真空室总压强为0.3‑1.0Pa，开启离子源沉积类金刚石涂层；工件偏压控制为300‑600V；采用膜厚监控仪在线监控DLC涂层厚度控制该DLC涂层的厚度3‑10纳米。