[发明专利]含化学气相共沉积硼化锆/铪-硼化钽的复合涂层及其制备方法

摘要

本发明提供了两种含化学气相共沉积硼化锆/铪‑硼化钽的复合涂层及其制备方法。本发明是采用化学气相沉积(CVD)方法制备了含有ZrB2‑TaB2固溶体的共沉积复合涂层(Zr(Ta)B4)，另一种含有HfB2‑TaB2固溶体的共沉积复合涂层(Hf(Ta)B4)，这两种共沉积复合涂层比单一CVD ZrB2涂层或CVD HfB2具有更高的抗氧化和抗烧蚀性能。如具有Zr(Ta)B4复合涂层的C/C复合材料在氧‑乙炔中烧蚀60s后，其线烧蚀率由‑11.8×10‑4mm/s变为6.1×10‑5mm/s，质量烧蚀率由1.08×10‑3g/s变为4.2×10‑5g/s。其具有优异的抗烧蚀性能，可作为石墨、碳基、陶瓷基复合材料的高温保护涂层。

主权项

含化学气相共沉积硼化锆/铪‑硼化钽的复合涂层，其特征在于：所述涂层为硼化锆/铪‑硼化钽涂层或含有硼化锆/铪‑硼化钽的多层涂层；所述涂层为高温陶瓷涂层。