[发明专利]一种微波传输装置和半导体处理设备有效
| 申请号： | 201611013118.3 | 申请日： | 2016-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN108074789B | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 刘春明 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;罗瑞芝 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微波传输装置和半导体处理设备。本发明的微波传输装置，包括波导和设置在波导内的阻抗匹配结构，波导用于将微波源发出的微波传输至负载，阻抗匹配结构包括微带交指电容，并且通过调节微带交指电容形成的等效电容，和/或，通过调节微带交指电容在波导中的位置，使沿微波传输方向上，阻抗匹配结构输入端之前的阻抗与阻抗匹配结构输入端之后的阻抗相匹配。本发明的半导体处理设备，包括微波源、微波传输装置和负载，微波传输装置采用本发明的微波传输装置。本发明微波传输装置能通过调节微带交指电容形成的等效电容进行微调，和/或通过调节微带交指电容在波导中的位置进行大幅度调整，从而使调节范围增大。 | ||
| 搜索关键词： | 微波传输装置 交指电容 阻抗匹配结构 波导 微带 半导体处理设备 等效电容 微波传输 输入端 微波源 阻抗 范围增大 微调 匹配 | ||
【主权项】：
1.一种微波传输装置，包括波导和设置在所述波导内的阻抗匹配结构，所述波导用于将微波源发出的微波传输至负载，其特征在于，所述阻抗匹配结构包括微带交指电容，并且通过调节所述微带交指电容形成的等效电容，和/或，通过调节所述微带交指电容在所述波导中的位置，使沿微波传输方向上，所述阻抗匹配结构输入端之前的阻抗与所述阻抗匹配结构输入端之后的阻抗相匹配。
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