[发明专利]一种微波传输装置和半导体处理设备

权利要求书

1.一种微波传输装置，包括波导和设置在所述波导内的阻抗匹配结构，所述波导用于将微波源发出的微波传输至负载，其特征在于，

所述阻抗匹配结构包括微带交指电容，并且通过调节所述微带交指电容形成的等效电容，和/或，通过调节所述微带交指电容在所述波导中的位置，使沿微波传输方向上，所述阻抗匹配结构输入端之前的阻抗与所述阻抗匹配结构输入端之后的阻抗相匹配。

2.根据权利要求1所述的微波传输装置，其特征在于，所述微带交指电容包括第一金属片和第二金属片，其中，所述第一金属片和第二金属片均包括：

手指，所述手指的个数≥3；

手指连接部，所述手指连接部呈直线，所述手指与所述手指连接部垂直连接，且各所述手指之间相互平行；

所述第一金属片和所述第二金属片位于同一平面内，且所述第一金属片的所述手指和所述第二金属片的所述手指相对交叉形成交指对。

3.根据权利要求2所述的微波传输装置，其特征在于，所述第一金属片和所述第二金属片的手指个数均为4个。

4.根据权利要求2或3所述的传输装置，其特征在于，通过调整所述交指对中所述手指的交叉深度,来调节所述微带交指电容形成的等效电容；和/或，

通过调整所述交指对中所述手指的间距,来调节所述微带交指电容形成的等效电容。

5.根据权利要求4所述的微波传输装置，其特征在于，所述波导呈矩形管状，在沿所述波导延伸方向的矩形截面上设置所述微带交指电容，其中，所述第一金属片和所述第二金属片分别设置在所述矩形截面两个长边所在的内壁上。

6.根据权利要求5所述的微波传输装置，其特征在于，还包括第一调节机构，

所述第一调节机构设置在所述矩形截面的第一长边所在的内壁上，并与所述第一金属片连接，能使所述第一金属片沿所述波导的延伸方向移动。

7.根据权利要求6所述的微波传输装置，其特征在于，所述第一调节机构包括：

第一条形板，所述第一条形板沿所述波导的延伸方向嵌入所述矩形截面的第一长边所在的内壁，沿所述第一条形板的长度方向开设有T型槽，所述T型槽包括水平槽和垂直于所述水平槽的竖直槽；

第一调节杆，所述第一调节杆设置在所述水平槽内，所述第一金属片的所述手指连接部的至少一部分设置在所述竖直槽内，所述第一调节杆的第一端与所述第一金属片的所述手指连接部连接，所述第一调节杆能沿所述水平槽的延伸方向移动，以带动所述第一金属片沿所述波导延伸方向移动。

8.根据权利要求7所述的微波传输装置，其特征在于，所述第一调节机构还包括第一驱动部，

所述第一驱动部与所述第一调节杆的第二端连接，用于驱动所述第一调节杆沿所述波导的延伸方向移动。

9.根据权利要求6-8任一所述的微波传输装置，其特征在于，还包括第二调节机构，

所述第二调节机构设置在所述矩形截面的第二长边所在的内壁上，并与所述第二金属片连接，能使所述第二金属片沿所述波导延伸方向移动。

10.根据权利要求9所述的微波传输装置，其特征在于，所述第二调节机构包括：

第二条形板，所述第二条形板沿所述波导的延伸方向嵌入所述矩形截面的第二长边所在的内壁，沿所述第二条形板的长度方向开设有T形槽，所述T型槽包括水平槽和垂直于所述水平槽的竖直槽；

第二调节杆，所述第二调节杆设置在所述水平槽内，所述第二金属片的所述手指连接部的至少一部分设置在所述竖直槽内，所述第二调节杆的第一端与所述第二金属片的所述手指连接部连接，所述第二调节杆能沿所述水平槽的延伸方向移动，以带动所述第二金属片沿所述波导延伸方向移动。

11.根据权利要求10所述的微波传输装置，其特征在于，所述第二调节机构还包括第二驱动部，

所述第二驱动部与所述第二调节杆的第二端连接，用于驱动所述第二调节杆沿所述波导的延伸方向移动。