[发明专利]离子注入机以及离子注入操作方法在审
| 申请号： | 201610984913.0 | 申请日： | 2016-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN106298416A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 张聪;裴雷洪;严骏 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种离子注入机以及离子注入操作方法。根据本发明的离子注入机包括：静电托盘、第一装载锁定腔、冷却装载以及第一传输机械臂；其中，冷却装载布置在第一装载锁定腔中以便用于对第一装载锁定腔中的晶圆进行预冷却，而且第一传输机械臂用于将晶圆从第一装载锁定腔直接传递至静电托盘以便对预冷却后的晶圆进行再次冷却以及离子注入处理。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 以及 操作方法 | ||
【主权项】：
一种离子注入机，其特征在于包括：静电托盘、第一装载锁定腔、冷却装载以及第一传输机械臂；其中，冷却装载布置在第一装载锁定腔中以便用于对第一装载锁定腔中的晶圆进行预冷却，而且第一传输机械臂用于将晶圆从第一装载锁定腔直接传递至静电托盘以便对预冷却后的晶圆进行再次冷却以及离子注入处理。
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