[发明专利]离子注入机以及离子注入操作方法在审
| 申请号： | 201610984913.0 | 申请日： | 2016-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN106298416A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 张聪;裴雷洪;严骏 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子 注入 以及 操作方法 | ||
【说明书】：
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