[发明专利]应用于微机电系统的电子电路

摘要

一种应用于微机电系统之的电子电路，由一信号感测单元、一高通滤波器、一类比‑数位转换器、一振幅控制与处理单元、一乘法器、一低通滤波器、一相位处理单元、以及一压控振荡器所组成的一闭环驱动电路模块。特别地，该电子电路除了可以根据自陀螺仪元件检出的驱动状态感测信号进而自适性地产生一调制驱动信号以外，还同时也会自适性地消除该驱动状态感测信号与已身输出的调制驱动信号之间的相位差；如此，所输出的调制驱动信号便能够驱动陀螺仪元件内部的质量块以期望且正确的振动频率或振动幅度进行简谐运动。

主权项

1.一种电子电路，应用于一微机电系统中，并电性连接至该微机电系统内的一陀螺仪元件；其特征在于，该电子电路应用为该陀螺仪元件的一驱动电路，并包括：一信号感测单元，耦接至该陀螺仪元件的一驱动状态检测电极，用以接收该陀螺仪元件的一输出信号，并输出一驱动状态感测信号；一高通滤波器，耦接至该信号感测单元，以对该驱动状态感测信号执行一高通滤波处理；一类比-数位转换器，耦接至该高通滤波器以接收完成所述高通滤波处理的该驱动状态感测信号，并输出一数位驱动状态信号；一振幅控制与处理单元，耦接至该类比-数位转换器以接收该数位驱动状态信号，并输出一调制驱动信号至该陀螺仪元件的一驱动电极；一乘法器，同时耦接该高通滤波器与该振幅控制与处理单元，以接收完成所述高通滤波处理的该驱动状态感测信号与该调制驱动信号，并将该驱动状态感测信号与该调制驱动信号进行乘法运算，以解调出一第一信号；一低通滤波器，耦接至该乘法器，以对该第一信号执行一低通滤波处理；一相位处理单元，耦接至该低通滤波器，以对已完成所述低通滤波处理的该第一信号进行一相位处理，并输出一振荡频率调控信号；以及一压控振荡器，耦接至该相位处理单元，并根据该振荡频率调控信号所具有的一特定频率而产生一第二信号；其中，该第二信号作为一参考驱动信号并同时输入该振幅控制与处理单元、该类比-数位转换器与该微机电系统内的一读取电路，使得该类比-数位转换器根据该参考驱动信号以及完成所述高通滤波处理的该驱动状态感测信号进而输出该数位驱动状态信号；进一步地，该振幅控制与处理单元根据该数位驱动状态信号与该参考驱动信号进而输出所述调制驱动信号至该陀螺仪元件的该驱动电极。