[发明专利]利用ALD技术在金属医疗器械上制备氧化物表面的方法

摘要

本发明公开了一种利用ALD技术在金属医疗器械上制备氧化物表面的方法，采用ALD技术，通过前驱体脉冲和氧源脉冲的交替通入，在金属医疗器械表面上发生化学吸附反应使其表面形成一层氧化物薄膜。本发明提供的利用ALD技术在金属医疗器械上制备氧化物表面的方法，可以在金属材质的植入型医疗器械表面制备具有1～100nm厚度的、致密、稳定的氧化物生物陶瓷表面，改善原有金属表面对其他材料如聚合物的粘附性，改善原有表面的生物相容性和血液相容性。

主权项

一种利用ALD技术在金属医疗器械上制备氧化物表面的方法，其特征在于：所述方法包括如下步骤：(1)清洗金属医疗器械，并进行干燥；(2)使用夹具将步骤(1)中的金属医疗器械放置在ALD工作室内；(3)根据沉积的氧化物种类，设定ALD沉积的工艺参数；(4)以脉冲形式向ALD工作室内通入包含氧化物中心元素的ALD前驱体化合物蒸汽；(5)向ALD工作室内通入惰性冲洗气体脉冲去除多余的ALD前驱体化合物蒸汽；(6)以脉冲形式向ALD工作室内通入氧源蒸汽；(7)向ALD工作室内通入惰性冲洗气体脉冲去除多余的氧源蒸汽；(8)重复步骤(4)到步骤(7)，直至金属医疗器械达到所需的表面沉积厚度；(9)根据沉积的氧化物种类，调整ALD工作室温度，从ALD工作室内取出金属医疗器械；(10)根据沉积的氧化物种类和金属医疗器械种类，对所述金属医疗器械进行后处理后，得到具有氧化物陶瓷表面的金属医疗器械。