[发明专利]集成电路、图像传感器的集成电路及其制造方法

摘要

本发明涉及一种具有自动聚焦功能的图像传感器及相关方法。在一些实施例中，该集成电路包括具有在半导体衬底内设置的多个光电二极管的光电二极管阵列、以及在光电二极管阵列上面且具有垂直地延伸穿过复合栅格的多个第一开口和多个第二开口的复合栅格。集成电路还具有图像感测像素阵列，该图像感测像素阵列具有在多个第一开口中设置的多个滤色器。集成电路还具有相位检测像素阵列，该相位检测像素阵列包括比多个滤色器小并且具有低折射率(低n)材料的多个相位检测组件，低折射率材料的折射率(n)小于多个滤色器的折射率，其中，相位检测组件设置在多个第二开口中。本发明的实施例还提供了集成电路、图像传感器的集成电路及其制造方法。

主权项

一种集成电路，包括：光电二极管阵列，包括在半导体衬底内设置的多个光电二极管；复合栅格，位于所述光电二极管阵列上面并且具有垂直延伸穿过所述复合栅格的多个第一开口和多个第二开口；图像感测像素阵列，包括在所述多个第一开口中设置的多个滤色器；以及相位检测像素阵列，包括比所述多个滤色器小并且具有低折射率(低n)材料的多个相位检测组件，所述低折射率材料的折射率(n)小于所述多个滤色器的折射率，其中，所述多个相位检测组件中的相位检测组件设置在所述多个第二开口中。