[发明专利]具有对应的电气参数的降低的漂移的MEMS多轴陀螺仪的微机械检测结构

摘要

多轴MEMS陀螺仪(42)设置有微机械检测结构(10)，其具有：基板(12)；驱动块布置(14a‑14b)；具有中心窗口(22)的从动块布置(20)；感测块布置(20；35a‑35b、37a‑37b)，其在存在关于第一水平轴(x)和第二水平轴(x)的角速度的情况下经历感测运动；感测电极布置(29a‑29b、30a‑30b)，其相对于基板固定并且被设置在感测块布置下面；和锚定组件(24)，其被设置在中心窗口(22)内以用于在锚定元件(27)处将从动块布置约束到基板。锚定组件包括刚性结构(25a‑25b)，其悬挂在基板上方、在中心部分处通过弹性连接元件(26a‑26b)弹性地连接到从动块，并且在其端部处通过弹性解耦元件(28)弹性地连接到锚定元件。

主权项

一种多轴MEMS陀螺仪(42)，其设置有具有水平平面(xy)中的主延伸部的微机械检测结构(10)，包括：基板(12)，其包括半导体材料；驱动块布置(14a‑14b)，其被设计为在驱动运动中被驱动；从动块布置(20)，其具有中心窗口(22)，并弹性地耦合到所述驱动块布置(14a‑14b)并且被设计为在由所述驱动运动造成的运动中被驱动；感测块布置(20；35a‑35b、37a‑37b)，其被设计为：在存在关于所述水平平面(xy)的第一水平轴(x)的第一角速度(ωx)的情况下，执行沿着垂直轴(z)从所述水平平面(xy)旋转出来的第一检测运动，以及在存在关于所述水平平面(xy)的第二水平轴(y)的第二角速度(ωy)的情况下，还执行从所述水平平面(xy)旋转出来的第二检测运动；感测电极布置(29a‑29b、30a‑30b)，其相对于所述基板(12)被固定并且被布置在所述感测块布置(20；35a‑35b、37a‑37b)下面且电容性地耦合到所述感测块布置(20；35a‑35b、37a‑37b)；以及锚定组件(24)，其被布置在所述从动块布置(20)的所述中心窗口(22)内、弹性地耦合到所述从动块布置并且被配置为在锚定元件(27)处将所述从动块布置约束到锚定所述基板(12)，其特征在于，所述锚定组件(24)包括刚性结构(25a‑25b)，所述刚性结构悬挂在所述基板(12)上方、通过中心部分处的弹性连接元件(26a‑26b)弹性地连接到所述从动块(20)，并且通过所述刚性结构的端部处的弹性解耦元件(28)弹性地连接到所述锚定元件(27)；其中所述锚定元件(27)被定位在离所述弹性连接元件(26a‑26b)一定距离处并且在所述水平平面(xy)中的所述感测电极布置(29a‑29b、30a‑30b)的位置处。