[发明专利]放射线图像传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201610850783.1 | 申请日： | 2016-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN106252372A | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 高攀;程丙勋;周作兴;张恒庆 | 申请（专利权）人： | 上海奕瑞光电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/146 | 分类号： | H01L27/146 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新区张江*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种放射线图像传感器及其制备方法，所述放射线图像传感器包括：基板，用于将可见光转化为电信号；闪烁体层，覆盖于所述基板的表面，用于将X射线转化为可见光；隔阻层，覆盖于所述闪烁体层表面及侧面；以及防水层，覆盖于以覆盖所述隔阻层的表面及侧面，并延伸覆盖于所述基板的部分表面。本发明在光传感器（基板）上采用蒸镀的方式制备闪烁体层，减少了粘胶工序；闪烁体层的封装只需要沉积阻隔层以及防水层两层薄膜，简化了闪烁体的封装结构，并提高了闪烁体层的稳定性以及防水性；通过对基板表面进行等离子体处理，大大提高了闪烁体层与基板的附着力。 | ||
| 搜索关键词： | 放射线 图像传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种放射线图像传感器，其特征在于，包括：基板，用于将可见光转化为电信号；闪烁体层，覆盖于所述基板的表面，用于将X射线转化为可见光；隔阻层，覆盖于所述闪烁体层表面及侧面；防水层，覆盖于以覆盖所述隔阻层的表面及侧面，并延伸覆盖于所述基板的部分表面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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