[发明专利]一种归一化正交多步相移相位测量方法

摘要

本发明公开了一种在相移相位测量中利用归一化和正交化方法提取待测量相位的方法。这种归一化正交相移方法(NOPSA)利用复正弦函数的正交性消除干涉图的背景，通过归一化和正交方法避免相移量偏差对测量精度的影响。该方法对相移量偏差不敏感，可以在任意未知相移量情况下快速高精度地恢复待测量相位，具有简单、快速、高精度、高稳定性特点。所提出的方法装置简单，精度高，抗噪性强，稳定可靠，对相移器精度要求低。

主权项

1.一种归一化正交多步相移相位测量方法，其特征在于，包含以下步骤：步骤一、构造相移干涉测量系统，在参考光路中使用相移器引入相移量，采集多幅相移干涉图；步骤二、构造一系列与步骤一所述相移干涉图相对应的标称相移量，将所述相移干涉图与所述标称相移量的复指数相乘然后相加，得到含误差的复干涉项函数；步骤三、取出所述复干涉项函数的实部并除以干涉图的均方根值，得到复干涉项的归一化实部；步骤四、取出所述复干涉项函数的虚部并除以干涉图的均方根值，得到复干涉项的归一化虚部；步骤五、将所述复干涉项函数的归一化实部与归一化虚部相加，并除以干涉图的均方根值，得到归一化和函数；步骤六、将所述复干涉项函数的归一化虚部与归一化实部相减，并除以干涉图的均方根值，得到归一化差函数；步骤七、将所述归一化差函数除以所诉归一化和函数后求反正切，得到待测量物体包裹相位；步骤八、将所述包裹相位解包裹，得到待测量物体相位。