[发明专利]一种二极管管芯总成酸洗装置及酸洗方法有效
申请号: | 201610796675.0 | 申请日: | 2016-08-31 |
公开(公告)号: | CN106531664B | 公开(公告)日: | 2019-02-15 |
发明(设计)人: | 欧金荣;李平生 | 申请(专利权)人: | 广安市嘉乐电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/02 |
代理公司: | 成都睿道专利代理事务所(普通合伙) 51217 | 代理人: | 薛波 |
地址: | 638600 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明属于半导体二极管生产技术领域,具体是一种二极管管芯总成酸洗装置及酸洗方法。本发明的二极管管芯总成酸洗装置,通过在工作传送带上方设置腐蚀液喷管,钝化液喷和清洗液喷管的方式,可以使几个工作步骤在一条传送带上方完成,通过工作传送带和漂洗传送带之间设置的滑板,装有二极管管芯总成的工装自动滑到漂洗箱中进行漂洗,省去人工搬运。漂洗后的二极管管芯总成在集中到超声波清洗槽中,清洗更彻底。通过超声波清洗后,再放入到离心脱水装置中,对二极管管芯上的水分去除。最后再放入酒精清洗箱中,采用酒精清洗,待酒精挥发后,二极管管芯总成彻底清洗干净。 | ||
搜索关键词: | 一种 二极管 管芯 总成 酸洗 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种二极管管芯总成酸洗装置,其特征是,包括机架(15),机架(15)上设置工作传送带(12),工作传送带(12)进料端侧面设置进料板(31),工作传送带(12)进料端设置与工作传送带(12)正对的推料气缸(14),推料气缸(14)的缸杆自由端设置推料块(13),工作送料带下方沿送料方向依次设置腐蚀液收集箱(16)、钝化液收集箱(18),清洗液收集箱(20),工作传送带(12)上方设置腐蚀液喷管(10)与所述腐蚀液收集箱(16)正对,工作传送带(12)上方设置钝化液喷管(8)与所述钝化液收集箱(18)正对,工作传送带(12)上方设置清洗液喷管(6)与所述清洗液收集箱(20)正对,所述腐蚀液喷管(10)、钝化液喷管(8)、清洗液喷管(6)之间通过隔料板(27)分隔;工作传送带(12)出料端外设置漂洗箱(23),所述漂洗箱(23)内倾斜设置漂洗传送带(3),漂洗传送带(3)出料端高于水面,漂洗传送带(3)进料端低于水面,漂洗传送带(3)进料端与工作传送带(12)出料端之间固定倾斜设置滑板(4),漂洗箱(23)一侧壁设置进水口(2),底面远离进水口(2)位置设置排水口(22);漂洗传送带(3)出料端外侧设置超声波清洗槽(1),超声波清洗槽(1)底部设置超声波发生器(24);超声波清洗槽(1)后端设置离心脱水装置(25),离心脱水装置(25)后端设置酒精清洗箱(26)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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