[发明专利]搅拌装置以及半导体密封用树脂组合物的制造方法

摘要

一种搅拌装置和半导体密封用树脂组合物的制造方法。搅拌装置(1)具备外壳(2)，以能够旋转的方式设置于外壳(2)内的1对的螺杆(4a)、(4b)。外壳(2)具备外壳主体(20)，划分出用于搅拌树脂组合物的搅拌室(30)的筐体(3)。螺杆(4a)具有螺杆轴(41)和设置于螺杆轴(41)的外周且配置于搅拌室(30)内的螺旋部件(42)以及搅拌部件(43)。螺杆轴(41)、螺旋部件(42)以及搅拌部件(43)分别具有芯部(411)、(421)、(431)，和设置于其芯部(411)、(421)、(431)的表面的外层(45)。筐体(3)以及外层(45)由非金属构成。

主权项

一种搅拌装置，该搅拌装置对含有多种粉末材料的组合物进行搅拌，其特征在于，具备：外壳，其具有用于供给所述组合物的供给口、用于搅拌所供给的所述组合物的搅拌室、用于排出搅拌后的所述组合物的排出口、设置于所述搅拌室的两个侧面的螺杆轴插入口、以及设置于所述螺杆轴插入口且由弹性体构成的密封部件；两个螺杆，其以能够旋转的方式设置于所述外壳内，且具有螺杆轴、第一螺旋部件以及与该第一螺旋部件相反方向的第二螺旋部件，该第一螺旋部件和该第二螺旋部件设置于所述螺杆轴的外周并配置于所述搅拌室内，所述两个螺杆对所述搅拌室内的所述组合物进行搅拌；两对轴承，其分别支承所述两个螺杆的所述螺杆轴，所述两个螺杆的所述螺杆轴分别构成为包括由金属材料构成的芯部、和设置于该芯部的一部分的表面且厚度为0.3～60mm的外层，所述两个螺杆的所述螺杆轴分别以沿所述搅拌室的长度方向贯通所述搅拌室的方式向设置于所述搅拌室的所述两个侧面的所述螺杆轴插入口插入，并且被所述轴承支承，所述轴承支承所述螺杆轴的所述表面的没有设置所述外层的部位，所述密封部件将所述螺杆轴的所述外层与所述螺杆轴插入口之间密封，所述第一螺旋部件和所述第二螺旋部件分别构成为包括由金属材料构成的螺旋状的芯部、和设置于所述螺旋状的芯部的外周面上的外层，位于所述搅拌室内的所述第一螺旋部件以及所述第二螺旋部件的所述外层与所述螺杆轴的所述外层以及所述搅拌室的至少内表面由非金属构成，所述排出口兼作连接脱气装置的入口的连接部，所述脱气装置对被所述搅拌装置搅拌后的所述组合物进行脱气，所述两个螺杆在垂直于所述螺杆轴的方向并排设置，所述排出口向铅垂方向下侧开口，以俯视时跨过所述两个螺杆的所述第二螺旋部件的方式配置，由所述非金属构成的所述搅拌室的内表面的厚度为0.3～10mm。