[发明专利]具有集成的温度测量电气装置的衬底保持器

摘要

本发明涉及具有集成的温度测量电气装置的衬底保持器。衬底保持器包括基板、设置在所述基板上面的结合层、以及设置在所述结合层上面的陶瓷层。所述陶瓷层具有包括被配置来支撑衬底的区域的顶表面。若干温度测量电气装置被附着到所述陶瓷层。导电迹线被嵌在所述陶瓷层内且被设置并布线为与所述若干温度测量电气装置的一或多个电触头电气连接。电线被设置为电接触所述导电迹线。所述电线从陶瓷层延伸穿过结合层并穿过基板到控制电路。

主权项

1.一种衬底保持器，包括：基板；设置在所述基板上面的结合层；设置在所述结合层上面的陶瓷层，所述陶瓷层具有包括被配置来支撑衬底的区域的顶表面；附着到所述陶瓷层的若干温度测量电气装置，所述若干温度测量电气装置中的每一个被配置用于测量所述陶瓷层的相应的局部温度，所述若干温度测量电气装置中的每一个具有多个电触头；嵌在所述陶瓷层内的多个导电迹线，所述多个导电迹线中的一些被设置为与所述若干温度测量电气装置的所述多个电触头中的一或多个电接触；和与所述多个导电迹线中的一或多个电接触的多个电线，所述多个电线从所述陶瓷层延伸穿过所述结合层并穿过所述基板到控制电路。