[发明专利]一种红黄光发光二极管的制作方法在审
| 申请号： | 201610637860.5 | 申请日： | 2016-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN106129194A | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 林晓文;高百卉;卞广彪;肖千宇 | 申请（专利权）人： | 华灿光电（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 徐立 |
| 地址： | 322000 浙江省金华市义*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种红黄光发光二极管的制作方法，属于半导体器件加工技术领域。所述制作方法包括：在晶元上生长红黄光LED；采用铁环固定在晶元的环状侧壁上；将胶膜贴附在红黄光LED和铁环上，并去除气泡；将晶元放置在陶瓷微孔承载盘上，并将砂轮与晶元没有贴附胶膜的表面相贴；利用陶瓷微孔承载盘带动晶元沿第一方向转动，同时驱动砂轮沿与第一方向相反的第二方向转动，减薄晶元；去除晶元上的胶膜和铁环。本发明不需要加热形成液体蜡、等蜡冷却、去除蜡等工序，使用更为方便，而且可以避免蜡残留的问题。同时可以实现对晶元厚度的控制，厚度均匀、翘曲度小，减小生产过程中裂片损失，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红黄光 发光二极管 制作方法 | ||
【主权项】：
一种红黄光发光二极管的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：在晶元上生长红黄光LED；采用铁环固定在所述晶元的环状侧壁上；将胶膜贴附在所述红黄光LED和所述铁环上，并去除气泡；将所述晶元放置在陶瓷微孔承载盘上，并将砂轮与所述晶元没有贴附所述胶膜的表面相贴；利用陶瓷微孔承载盘带动所述晶元沿第一方向转动，同时驱动所述砂轮沿与所述第一方向相反的第二方向转动，减薄所述晶元；去除所述晶元上的所述胶膜和所述铁环。
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