[发明专利]MEMS麦克风振膜及MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201610634401.1 | 申请日： | 2016-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN107690114B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 万蔡辛;朱佳辉;王志强 | 申请（专利权）人： | 共达电声股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R7/08 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址： | 261000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS麦克风振膜及MEMS麦克风，MEMS麦克风振膜包括：膜片和子结构，所述子结构设置有多个；所述子结构包括支撑部和梁结构，所述支撑部与所述梁结构连接，所述梁结构与所述膜片连接。本发明提供的MEMS麦克风振膜，在膜片边缘设置子结构，且子结构通过梁结构连接到膜片上，通过设置刚度较小的梁结构使MEMS麦克风振膜在工作时，当其中一个或多个子结构失效时，对所述膜片的灵敏度影响较小，所述膜片可以正常工作，并保证工作质量。进一步地，设置有上述MEMS麦克风振膜的MEMS麦克风灵敏度更高，信号质量更好，且使用寿命更长，可靠性更高。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风振膜，其特征在于，包括：膜片和子结构，所述子结构设置有多个；所述子结构包括支撑部和梁结构，所述支撑部与所述梁结构连接，所述梁结构与所述膜片连接。
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