[发明专利]MEMS麦克风振膜及MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201610634401.1 | 申请日： | 2016-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN107690114B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 万蔡辛;朱佳辉;王志强 | 申请（专利权）人： | 共达电声股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R7/08 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址： | 261000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
1.一种MEMS麦克风振膜，其特征在于，包括：
膜片和子结构，所述子结构设置有多个；
所述子结构包括支撑部和梁结构，所述支撑部与所述梁结构连接，所述梁结构与所述膜片连接。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风振膜，其特征在于，多个所述子结构沿所述膜片的边缘设置并连接到所述膜片上。
3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风振膜，其特征在于，所述子结构与所述膜片一体形成。
4.根据权利要求3所述的MEMS麦克风振膜，其特征在于，所述子结构与膜片之间设置有开槽。
5.根据权利要求4所述的MEMS麦克风振膜，其特征在于，所述子结构在所述膜片边缘向其外侧延伸形成。
6.根据权利要求5所述的MEMS麦克风振膜，其特征在于，在所述子结构还包括板结构，所述梁结构与所述板结构连接，所述板结构连接到所述膜片上。
7.根据权利要求4所述的MEMS麦克风振膜，其特征在于，所述子结构形成在所述膜片上形成。
8.根据权利要求1～7任一项所述的MEMS麦克风振膜，其特征在于，所述梁结构刚度小于所述膜片刚度的40％。
9.根据权利要求1～7任一项所述的MEMS麦克风振膜，其特征在于，所述子结构的面积小于所述膜片面积的10％。
10.根据权利要求1～7任一项所述的MEMS麦克风振膜，其特征在于，所述子结构的自振频率高于所述膜片的自振频率。
11.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：
衬底；
第一支撑层，设置在所述衬底上；
权利要求1～10中任一项所述的MEMS麦克风振膜，所述子结构设置在所述第一支撑层上；
第二支撑层，设置在所述子结构上；
背极板，所述背极板的一部分设置在所述第二支撑层上，另一部与所述MEMS麦克风振膜的膜片通过电介质流体分开；
第一导电层，设置在所述第二支撑层上。
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