[发明专利]掺杂器、长晶炉以及使用长晶炉的方法有效
| 申请号： | 201610623682.0 | 申请日： | 2016-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN106567124B | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 陈俊宏;蓝文杰;中西正美;李依晴;徐文庆 | 申请（专利权）人： | 环球晶圆股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B15/10 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种掺杂器、长晶炉以及使用长晶炉的方法，用于熔化一固态的原料，所述长晶炉包括：一炉体；一坩埚设置于所述炉体内，用于容置所述原料；一加热装置用于加热所述坩埚，使所述原料熔化而形成一熔融原料；一储料桶用于容置一掺杂物，且所述储料桶具有一出口；一阻料器设置于所述储料桶且位于所述出口处，所述阻料器受控制而开启或封闭所述出口；一第一进料管穿设所述炉体，且具有一入料口与一出料口，所述入料口连通所述储料桶的出口；一冷却装置设置于所述第一进料管，用于对所述第一进料管内部进行冷却。 | ||
| 搜索关键词： | 掺杂 长晶炉 以及 使用 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于长晶炉的掺杂器，且所述掺杂器用于将一掺杂物添加至所述长晶炉中的熔融原料，所述掺杂器包括：一储料桶，供容置所述掺杂物，所述储料桶具有一出口；一阻料器，设置于所述储料桶且位于所述出口处，所述阻料器受控制而开启或封闭所述出口；一第一进料管，具有一入料口与一出料口，所述入料口连通所述储料桶的出口；以及一冷却装置，设置于所述第一进料管，用于对所述第一进料管内部进行冷却，以避免所述掺杂物气化；所述阻料器受控制而开启所述出口之后，所述掺杂物自所述第一进料管的入料口落入所述第一进料管中，而自所述第一进料管的出料口落出。
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