[发明专利]一种指纹识别器、其制作方法及显示装置有效
申请号: | 201610595758.3 | 申请日: | 2016-07-26 |
公开(公告)号: | CN106129069B | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
发明(设计)人: | 刘英明;董学;吕敬;王海生;吴俊纬;丁小梁;廖峰;任庆荣;许睿;李昌峰;贾亚楠;赵利军;郭玉珍 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/84;G06K9/00 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种指纹识别器、其制作方法及显示装置,由于在薄膜晶体管的漏极与光敏部之间设置有第一导电连接部,光敏部通过该第一导电连接部与薄膜晶体管的漏极相连,因此即使当在绝缘层中形成第一过孔时会使漏极的表面变粗糙,但是由于与光敏部电连接的是第一导电连接部,而该第一导电连接部的表面是光滑的,因此与现有的指纹识别器相比可以避免由于在绝缘层中形成第一过孔导致的对光敏部的光学特性的影响,从而提高指纹识别器的性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 指纹识别 制作方法 显示装置 | ||
【主权项】:
1.一种指纹识别器,包括:衬底基板、位于所述衬底基板上的多个薄膜晶体管、覆盖各所述薄膜晶体管的绝缘层以及位于所述绝缘层上方且与各所述薄膜晶体管一一对应的光敏部;其特征在于,还包括:位于各所述薄膜晶体管的漏极与对应的光敏部之间的第一导电连接部;其中,所述第一导电连接部的表面是光滑的;所述绝缘层在与各所述薄膜晶体管的漏极对应的区域设置有贯穿所述绝缘层的第一过孔,所述第一导电连接部位于所述第一过孔中,且所述光敏部通过所述第一导电连接部与对应的薄膜晶体管的漏极电连接;各所述薄膜晶体管呈矩阵排列;还包括:位于所述绝缘层上方且覆盖各所述薄膜晶体管的有源层的遮挡层;所述遮挡层与所述第一导电连接部设置为同层同材质。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的