[发明专利]具有分体式中心转动件的多轴转速传感器

摘要

本发明涉及转速传感器，包括基底、第一驱动结构、第二驱动结构、第一探测结构、第二探测结构、第三探测结构和第四探测结构。该转速传感器包括驱动装置，用于使第一和第二驱动结构从静止位置偏出从而使得它们能被激励成具有基本反相的运动分量的振动。第一和第二探测结构借助耦合结构耦合，使得在第一转速和/或在第二转速的情况下能够探测基本垂直于驱动方向作用到第一探测结构上的第一力作用和作用到第二探测结构上的第二力作用，第一和第二力作用基本反相，第三和第四探测结构借助于耦合结构耦合，使得在第二转速和/或在第三转速的情况下能探测基本垂直于主延伸平面作用到第三探测结构上的第三力作用和作用到第四探测结构上的第四力作用。

主权项

一种转速传感器(1)，其包括：具有主延伸平面(100)的基底(3)；能够相对于所述基底(3)基本上平行于一基本上平行于所述主延伸平面(100)的驱动方向(5)运动的第一驱动结构(7)；能够相对于所述基底(3)并且相对于所述第一驱动结构(7)基本上平行于所述驱动方向(5)运动的第二驱动结构(9)；能够相对于所述基底(3)运动并且能够被所述第一驱动结构(7)基本上平行于所述驱动方向(5)驱动的第一探测结构(11)；能够相对于所述基底(3)运动并且能够被所述第二驱动结构(9)基本上平行于所述驱动方向(5)驱动的第二探测结构(13)；能够相对于所述基底(3)运动并且能够被所述第一驱动结构(7)和所述第二驱动结构(9)在围绕一基本上垂直于所述主延伸平面(100)延伸的第一轴线摆动方面驱动的第三探测结构(17)；能够相对于所述基底(3)运动并且能够被所述第一驱动结构(7)和所述第二驱动结构(9)在围绕一基本上垂直于所述主延伸平面(100)延伸的第二轴线摆动方面驱动的第四探测结构(21)，其中，所述转速传感器(1)包括驱动装置，所述驱动装置用于使所述第一驱动结构(7)从该第一驱动结构(7)的静止位置偏转出并且使所述第二驱动结构(9)从该第二驱动结构(9)的静止位置偏转出，从而使得所述第一驱动结构(7)和所述第二驱动结构(9)能够被激励成基本上反相的振动，所述振动分别具有基本上平行于所述驱动方向(5)的运动分量，其特征在于，所述第一探测结构(11)和所述第二探测结构(13)借助于耦合结构(23)耦合，从而使得：‑‑在围绕一基本上平行于一垂直于所述主延伸平面(100)延伸的第三轴线(Z)的轴线的第一转速的情况下和/或‑‑在围绕一基本上平行于一平行于所述主延伸平面(100)并且垂直于所述驱动方向(5)延伸的第四轴线(Y)的轴线的第二转速的情况下能够探测基本上垂直于所述驱动方向(5)作用到所述第一探测结构(11)上的第一力作用和作用到所述第二探测结构(13)上的第二力作用，其中，所述第一力作用和所述第二力作用是基本上反相的，其中，所述第三探测结构(17)和所述第四探测结构(21)借助于所述耦合结构(23)耦合，从而使得：‑‑在所述第二转速的情况下和/或‑‑在围绕一基本上平行于一平行于所述驱动方向(5)延伸的第五轴线(X)的轴线的第三转速的情况下能够探测基本上垂直于所述主延伸平面(100)作用到所述第三探测结构(17)上的第三力作用和作用到所述第四探测结构(21)上的第四力作用。