[发明专利]加速度传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201610532843.5 | 申请日： | 2016-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN106872729B | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 李熙元 | 申请（专利权）人： | 现代自动车株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;彭益群 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种加速度传感器，其包括：移动电极，其在第一方向和垂直于第一方向的第二方向中的至少一个方向上延伸，并包括多个彼此连接的平面图案；以及与移动电极形成电容的对置电极，其中，多个平面图案包括：第一框架图案；将移动电极固定到周围结构的第一锚固件图案；第一弹簧图案，其连接第一框架图案和第一锚固件图案，并具有第一方向的拉伸方向；第二弹簧图案，其连接第一框架图案和第一锚固件图案，并具有第二方向的拉伸方向；翼形件图案；以及第三弹簧图案，其连接第一框架图案和翼形件图案，并具有与第一方向和第二方向垂直的第三方向的拉伸方向。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种加速度传感器，包括：移动电极，其在第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向中的至少一个方向上延伸，并包括彼此连接的多个平面图案；以及与所述移动电极形成电容的对置电极，其中，所述多个平面图案包括：第一框架图案；将所述移动电极固定到周围结构的第一锚固件图案；第一弹簧图案，其连接所述第一框架图案和所述第一锚固件图案，并且拉伸方向为所述第一方向；第二弹簧图案，其连接所述第一框架图案和所述第一锚固件图案，并且拉伸方向为所述第二方向；翼形件图案；以及第三弹簧图案，其连接所述第一框架图案和所述翼形件图案，并且拉伸方向为与所述第一方向和第二方向垂直的第三方向，并且加速度是根据电容变化测量的。
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