[发明专利]机电开关器件有效
| 申请号： | 201610500334.4 | 申请日： | 2016-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN106328598B | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | M·胡茨勒 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/13 | 分类号： | H01L23/13;H01L27/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种开关器件，包括设置在衬底中的开口。源极邻近开口地布置并且具有与开口的侧壁平行的接触表面。漏极邻近开口地布置并且具有与开口的侧壁平行的接触表面。可移动栅极堆叠包括沟道和栅极。可移动栅极堆叠设置在开口之内。 | ||
| 搜索关键词： | 机电 开关 器件 | ||
【主权项】：
1.一种开关器件，包括：第一开口，被布置在包括主表面的衬底中，所述第一开口沿着源自所述主表面的第一方向延伸至所述衬底；第一源极，被布置成邻近所述第一开口并且具有与所述第一开口的侧壁平行的接触表面；第一漏极，被布置成邻近所述第一开口并且具有与所述第一开口的所述侧壁平行的接触表面；介电层，被布置在所述第一源极和所述第一漏极之间，所述介电层将所述第一源极与所述第一漏极隔离开；以及第一可移动栅极堆叠，包括被布置在所述第一开口之内的第一沟道和第一栅极，其中所述开关器件包括接通状态和关断状态，并且在所述接通状态下，所述开关器件被配置为传导平行于所述第一方向的电流。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于英飞凌科技股份有限公司，未经英飞凌科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610500334.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：马达转子中心轴正位结构
- 下一篇：半导体封装件
