[发明专利]一种电感式温度传感器及其制作方法

摘要

本发明提供一种电感式温度传感器，所述电感式温度传感器为三明治结构，包括底层衬底、上层盖片和设置于底层衬底和上层盖片之间的检测电感；所述检测电感包括电感模具，电感模具为中通的螺旋形凹槽结构，螺旋形凹槽内注有作为液态电感的液态金属合金；螺旋形凹槽内、液态金属合金的上表面设有一层氧化物保形层；氧化物保形层的高度低于螺旋形凹槽上表面的高度。当温度发生变化时，电感模具的形状会由于热胀冷缩而发生变化，进而引起液态金属合金的形貌发生变化即引起电感值发生变化，从而实现温度测量功能。本发明提出的电感式温度传感器结构简单、制作成本低、灵敏度高且响应较快。

主权项

一种电感式温度传感器，其特征在于，所述电感式温度传感器为三明治结构，包括：底层衬底(1)、上层盖片(5)和设置于底层衬底(1)和上层盖片(5)之间的检测电感；所述检测电感包括设有螺旋形凹槽的电感模具(3)，螺旋形凹槽内注有作为液态电感的液态金属合金(2)；螺旋形凹槽内、液态金属合金(2)的上表面设有一层氧化物保形层(4)；氧化物保形层(4)的高度低于螺旋形凹槽上表面的高度。